Tip Tipiku ta 'Sistema tal-Vakwu

Is-sistema li tintuża biex tissodisfa ċerti rekwiżiti tal-proċess, li kapaċi tikseb u tkejjel il-vakwu speċifiku meħtieġ tissejjaħ sistema vakum. Sistema tal-vakwu aktar kompluta tikkonsisti f'kamra tal-vakwu, pompa tal-vakwu jew unità tal-vakwu meħtieġa, apparat tal-kejl tal-vakwu, kondjuwit tal-konnessjoni, valv tal-vakwu, nassa u komponenti oħra vakwu u sistema ta 'kontroll elettriku. Is-sistema tipika tal-vakwu tidher f'Figura 1 u Figura 2.

1. Valv tal-fsada tal-kamra tal-vakwu 2. Ionizzazzjoni vakwu gauge 3. Vakwu termokoppju vakwu 4. Valv li jirregola l-fluss

5. Valv għoli ta 'vakwu 6. Pompa ta' diffużjoni 7. Tank tal-ħażna tal-gass

8. Strument tal-kejl termokoppju (pressjoni tal-pompa ta 'diffużjoni tal-kejl ta' qabel l-istadju) 9. Valv ta 'rinforz 10. Sensor tal-pressjoni

11. Valv ta 'l-ippumpjar minn qabel 12. Pompa tal-vakum ta' l-għeruq 13. Vettura bil-pass 14. Valv elettromanjetiku tal-fsada

15. Pompa tal-vakwu mekkanika

Fig.1 Dijagramma skematika ta 'sistema tipika ta' vakwu

1. Kamra tal-vacuum 2. Ionization gauge vakwu 3. Vakwu thermocouple gauge 4. Valv ta 'deflazzjoni

5. Valv għoli tal-vakwu 6. Nassa kiesħa 7. Pompa ta 'diffużjoni 8. Valv ta' rinforz 9. Valv elettromanjetiku tal-fsada

10. Pompa tal-vakwu mekkanika 11 Valv ta 'pre-ippumpjar

Fig.2 Dijagramma skematika ta 'sistema tipika ta' vakwu