Is-Sistema ta 'Drive u Sistema ta' Tkessiħ Ta 'Tagħmir ta' Kisi PVD

Sistema ta 'Drive

Is-sistema tas-sewqan tippermetti li s-substrat jiċċirkola milli jpoġġi s-sottostrat fil-mezz għat-teħid tad-depożitu tal-ispirtu, biex joħroġ mill-apparat wara t-tlestija tal-ipproċessar. Is-sistema tas-sewqan hija magħmula minn mutur tas-sewqan, rota tal-iscroll, konvertitur tal-frekwenza u l-bqija. Ir-raġunijiet għaliex iżżid is-sistema tas-sewqan huma:

(1) Jiżguraw li l-kisi tal-ħxuna uniformi jitqassam b'mod wiesa '.

(2) Faċli biex tirrealizza trasmissjoni awtomatizzata.

Sistema ta 'tkessiħ

Is-sistema tat-tkessiħ hija magħmula prinċipalment mill-pompa molekulari tal-ilma li jiċċirkola fil-mira, kamra, pompa tal-pompa u l-mutur tas-sewqan li jkessaħ l-ilma li jiċċirkola. Il-funzjoni ewlenija tagħha hija li tkessaħ il-kamra tal-vakwu, pompa, sewqan, provvista ta 'enerġija, eċċ. Ir-rekwiżiti ta' ilma li jkessaħ huma:

(1) Temperatura: 17 ~ 22 ° C;

(2) Pressjoni: 2 ~ 3e0.05Pa;

(3) Il-partiċelli manjetiċi għandhom jitneħħew mill-ilma, u l-ilma għandu jittaffa, pH = 6 ~ 8.