Studju dwar l-Uniformità tat-TiN Depożitat fuq il-Pjanċa ta 'l-Azzar Stainless Permezz Kisi Ion Multi-arc

Studju dwar l-uniformità tat-TiN iddepożitat fuq il-pjanċa ta 'l-istainless steel permezz ta' kisi tal-joni b'ħafna ark

Multi-arc kisi joniku huwa proċess ta 'kisi żviluppat għal diffrazzjoni tajba, li jista' jintuża biex jiġu ppreparati films tal-metall, pellikoli tal-liga, films komposti u films ta 'struttura b'ħafna saffi. Minħabba r-rata għolja ta 'jonizzazzjoni tal-metall u l-enerġija ta' joni għolja, din it-teknoloġija tista 'ttejjeb l-uniformità tal-kisi u l-adeżjoni, u saret l-aqwa teknoloġija għad-depożizzjoni ta' film dekorattiv TiN.

Depożizzjoni ta 'kisi joniku b'ħafna arki TiN, li l-essenza tagħha hija introdotta fil-proċess ta' proċess kimiku ta 'kisi joniku b'ħafna arki, li fl-istess ħin ta' evaporazzjoni ta 'importazzjoni ta' titanju jista 'jirreaġixxi ma' titanju nitroġenu, bl-evaporazzjoni ta 'titanju mħallat fil-plażma, \ t f'temperatura baxxa kienet reazzjoni bijokimika, sedimenti ffurmati fil-komposti tas-sottostrat.

Għalkemm kisi tal-joni multi-arc għandu propjetà ta 'diffrazzjoni tajba u jista' jintuża għat-tipi kollha ta 'dekorazzjonijiet, mhuwiex faċli li tinkiseb kisja uniformi tat-TiN fuq iż-żona kbira ta' sottostrat tal-istainless steel għal dekorazzjoni arkitettonika.

1. Tipproponi problemi

Sabiex tinkiseb uniformità sodisfaċenti, il-wisa 'trasversali tal-mira huwa meħtieġ li jkun ikbar mill-wisa' tas-sottostrat, u l-mira hija ħaġa sħiħa kontinwa fid-direzzjoni tal-wisa 'tas-sottostrat. U ħafna tagħmir ta 'ark joniku kull ark huwa diskontinwu fuq l-ispazju bejn l-ark u l-ark għandu ċerta distanza, jekk parti mill-hardware ta' aġġustament mhux xieraq tat-tagħmir, jew parametri ta 'proċess ta' għażla mhux xierqa tas-softwer tat-tagħmir, huwa possibbli li s-sottostrat isir fil- biswit il-parti ta 'l-arka u parti akbar tad-differenza fil-kulur bejn ark u ark, arka hija opposta għall-parti fonda tal-kulur (jew dawl), bejn l-arka u sezzjoni ta' arka kulur baxx jew fond, fond ta 'strixxi li \ t "zebra", tagħmel il-prodott tat-tnaqqis dekorattiv, anke ssir difettuż.

Il-problema tal-uniformità tal-pjanċi tal-istainless steel indurati hija diskussa f'dan id-dokument

2. Fatturi li jinfluwenzaw il-hardware

2.1 id-distanza bejn l-arki u s-sottostrati

Id-distanza bejn l-ark u s-sottostrat għandha influwenza kbira fuq l-uniformità tal-kisi tal-kisi tal-joni. Id-distanza tal-bażi tal-ark hija żgħira wisq, in-numru ta 'kolliżjonijiet tal-partiċelli qabel ma tilħaq is-sottostrat huwa żgħir wisq, l-effett ta' tifrix huwa mdgħajjef, u l-uniformità tal-kisi tonqos. Id-distanza tal-bażi tal-ark hija kbira wisq, mhux biss ħela ta 'spazju, iżżid il-ħin tal-egżost bla bżonn, imma wkoll iġġiegħel li l-partiċelli jilħqu s-sottostrat meta l-enerġija tkun żgħira wisq, issikkat u tonqos. Riżultati teoretiċi u sperimentali juru li l-uniformità mixtieqa tal-ħxuna tal-film tista 'tinkiseb meta d-distanza tal-bażi ta' l-ark tkun 'il fuq minn 200mm.

2.2   saħħa tal-kamp manjetiku

Is-saħħa tal-kamp manjetiku u l-kisi jirrelataw mill-qrib bejn wieħed u ieħor, huwa magħruf sew li l-kamp manjetiku fis-sistema tas-sors tal-arka jista 'jtejjeb il-prestazzjoni tas-sors tal-ark elettriku, jagħmel il-plażma tal-ark mozzjoni mgħaġġla, iżid in-numru tal-elettroni u joni tal-emissjoni tal-katodu , żid id-densità tar-raġġi u d-direzzjonalità, tnaqqas il-kontenut ta 'mikro taqtir, imma s-saħħa tal-kamp manjetiku għal moderat, wisq tista' tagħmel il-konċentrazzjoni tal-partiċelli, l-uniformità tal-kisi tonqos; Wisq dgħajfa u faċli biex tikkawża tifi ta 'ark, ma tistax tilħaq ir-rwol ta' ark stabbli.

L-esperimenti juru li l-komponent orizzontali massimu tal-materjal tas-sors fuq il-wiċċ tal-qawwa tal-kamp manjetiku fl-20 ~ 35 gs huwa l-aħjar, qabel ma jintuża l-materjal tas-sors ta 'l-ark kollu fuq il-wiċċ tal-qawwa tal-kamp manjetiku meħtieġ biex jintuża aġġustament unifikat tal-gauss meter, bħala s-sors tal-konsum tal-materjal, is-sors tal-wiċċ tal-materjal minħabba d-distanza mill-kalamita iżgħar u tagħmel il-qawwa tal-kamp manjetiku tiżdied, u għalhekk huwa meħtieġ li l-aġġustament perjodiku tiegħu jiġi aġġustat skont is-sors tal-konsum tal-materjal fuq il-wiċċ tal-kamp manjetiku intensità, il-morfoloġija tal-wiċċ tiddefetti sors serju ta ’materjal li għandu jiġi pproċessat.

3. Software fatturi li jinfluwenzaw

3.1 pressjoni tal-gass

Fil-proċess tal-kisi tal-joni, il-pressjoni tal-gass għandha influwenza kbira fuq l-uniformità tal-kisi. Ġeneralment, iktar ma tkun għolja l-pressjoni tal-gass, iktar tkun aħjar id-diffrazzjoni tal-jone u aħjar tkun l-uniformità tal-kisi. Madankollu, pressjoni eċċessiva tnaqqas ukoll l-enerġija li tinġarr mill-partiċelli meta jilħqu s-sottostrat u taffettwa s-saħħa tal-adeżjoni tal-kisi. L-esperimenti juru li l-aħjar pressjoni parzjali tan-nitroġenu hija 3.0 * 10-1 ~ 1Pa għad-depożizzjoni tat-TiN fuq erja kbira ta 'sottostrat ta' l-istainless steel permezz ta 'kisi tal-joni.

3.2 preġudizzju tas-sottostrat

Fl-issettjar ta 'preġudizzju negattiv tas-sottostrat jista' jtejjeb il-veloċità tal-partiċelli inċidenti, is-sottostrat biex jikseb enerġija akbar, u b'hekk iżid is-saħħa ta 'l-adeżjoni bejn il-kisi u s-sottostrat, imma preġudizzju eċċessiv jagħmel il-partiċelli għat-tifrix huwa attirat is-sottostrat, l-uniformità tal-kisi, depożizzjoni bil-kisja tal-joni tal-preġudizzju tal-film TiN bejn 50 ~ 100 v hija aħjar.

3.3 il -kobor tal-kurrent tal-ark

L-ark kurrenti jirrifletti r-rata ta ’evaporazzjoni tal-film. L-esperimenti juru li meta l-kurrent tal-ark jiżdied meta l-uniformità tal-kisi tonqos, dan huwa minħabba t-tifrix tad-depożizzjoni tal-partiċelli fuq is-sottostrat, u d-depożizzjoni fl-uċuħ minħabba ż-żieda fl-inċidenza tas-sors tal-ark, madankollu, minn titjib fl-effiċjenza tal-produzzjoni, tama li l-ikbar l-ark kurrenti, l-aħjar, dan jitlob li nagħmlu l-għażla ta ’kompromess, minbarra l-erja tal-materjal mis-sors ta’ apparati differenti, l-għażla tal-parametri se tkun differenti, għall-materjal mis-sors ta ’dijametru ta’ 65 mm ark, ark kurrenti għandu jkun bejn 50 ~ 100 a.

3.4 temperatura tas-sottostrat

Temperatura tas-sottostrat fuq l-effett ta 'uniformità ta' kisi ta 'kisi joniku, prinċipali hija li tneħħi l-umdità ta' ġewwa tal-vakwu u ttejjeb l-adeżjoni tal-kisi, umdità ta 'ġewwa tal-vakwu titqajjem kisi taż-żebra ta' raġuni importanti ħafna, speċjalment għas-saffi b'tagħmir tal-kompartiment tal-vakwu mkessaħ bl-ilma, umdità fl-arja tas-sajf hija ikbar, pressjoni fl-iffriżar tal-vakwu ta ’kondensazzjoni ta’ ħitan ta ’ġewwa ilma faċilment, din hija l-kawża ewlenija ta’ l-ilma, barra minn hekk, wara li tnaddaf is-sottostrat, it-tnixxif mhux komplut iġib ukoll umdità fil-kompartiment tal-vakwu, ilma msaħħan bil-fwar, fuq il- naħa waħda, faċli biex tikkawża r-rimi tas-sottostrat fil-qafas tal-kompartiment tal-vakwu, Wiċċ tal-wiċċ tas-sottostrat (min-naħa l-oħra, taħt l-azzjoni ta 'ark elettriku, jiddekomponi l-ossiġenu, in-nitroġenu u l-ossiġenu jirreaġixxu aktar malajr mat-titanju, inevitabbilment jikkawża l-bidla ta' il-kompożizzjoni tal-kisi, li tirriżulta f'kulur ta 'kisi irregolari, it-temperatura tas-sottostrat għandha tkun bejn 120 ℃ ~ 200 ℃ , minħabba li t-temperatura hija għolja wisq tista' tikkawża di diffikultajiet għat-tagħbija u l-ħatt tas-sottostrat, inaqqsu l-effiċjenza tal-produzzjoni, min-naħa l-oħra, meta ħsara lill-vakwu jagħlaq vakwu chamber ta 'l-ilma li jkessaħ u żżomm it-temperatura ta' ġewwa, vakwu fil-grad kbir ħafna jista 'jtejjeb dan l-istat.

4, noti ta 'l-aħħar

Sabiex tinkiseb adeżjoni tajba tal-kisi tal-kisi tal-jone uniformi N, aġġusta l-apparat dwar il-parti tal-ħardwer u l-parametri alternattivi tal-proċess tas-softwer tat-tagħmir huwa importanti ħafna, għall-istruttura differenti tat-tagħmir, fatturi varji għandhom jiġu kkunsidrati b'mod komprensiv, regolament unifikat tal-parametri varji tal-proċess, sib il-korrispondenti għall-aħjar kundizzjonijiet tal-proċess tat-tagħmir speċifiku.

Barra minn hekk, il-biċċa tax-xogħol qabel il-kisi tat-tindif u r-reazzjoni tal-purità tal-gass fuq l-uniformità tal-kisi għandha wkoll impatt ikbar, minħabba li dawn iż-żewġ aspetti jistgħu ġeneralment jikkawżaw attenzjoni biżżejjed, u jiksbu effett ta 'tindif tajjeb (bl-użu ta' tagħmir ta 'tindif ultrasoniku) u nitroġenu ta' purità għolja huwa relattivament faċli, għalhekk mhux fl-ambitu ta ’dan id-dokument.

Fl-aħħar, il-parametri tipiċi tal-proċess tal-kisi TiN iddepożitati fuq pjanċa ta 'l-istainless steel ta' 3000mm * 1000mm minn tagħmir multi-arc plating ion b'dijametru ta '1500mm u tul ta' 3500mm u sorsi ta '24 ark huma mogħtija għad-diskussjoni mill-kollegi.

IKS PVD system Sistema ta 'kisi tat-tifrix ta' Multi Arc joniku Megnetron, ikkuntattja: iks.pvd@foxmail.com