Tagħmir PECVD Problemi Komuni U Miżuri ta 'Trattament-Nuqqas Li Glow
Jul 01, 2023| Kawżi u miżuri ta 'trattament għal nuqqas ta' tiddi:
(1) Jekk il-provvista tal-enerġija RF hija difettuża, iċċekkja jekk l-output tal-enerġija tas-sors RF huwiex normali.
(2) Il-volum tad-dħul tal-gass tar-reazzjoni huwa żgħir, iċċekkja jekk il-miter tal-fluss tal-gass huwiex normali, jekk normali, żid il-volum tad-dħul għat-test.
(3) l-indafa tal-pjanċa tal-kavità mhix biżżejjed, uża multimeter biex tkejjel ir-reżistenza tal-art tal-pjanċi ta 'fuq u t'isfel tal-kavità, il-valur normali għandu jkun 'il fuq minn għexieren ta' megohm, jekk mhux normali, naddaf il-pjanċa tal-kavità.
(4) Jekk iċ-ċirkwit tat-tqabbil tal-RF ikun difettuż, iċċekkja jekk is-sors tal-qawwa riflessa tal-RF huwiex fil-medda normali. Jekk hija anormali, iċċekkja jekk il-kapaċitatur u l-inductance fiċ-ċirkwit li jaqbel humiex bil-ħsara.
(5) Il-grad tal-vakwu huwa fqir wisq, iċċekkja jekk il-grad tal-vakwu tal-kavità huwiex normali.
Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com
