Problemi komuni tat-tagħmir PECVD-Rata ta 'depożizzjoni baxxa

Problemi komuni tat-tagħmir PECVD-Rata ta 'depożizzjoni baxxa

(1) Jekk il-qawwa tad-dħul RF mhix xierqa, aġġusta l-qawwa RF.

(2) Jekk it-temperatura tal-kampjun hija anormali, iċċekkja jekk il-fluss tal-ilma li jkessaħ u t-temperatura humiex normali.

(3) Il-pressjoni tal-kamra tal-vakwu hija baxxa, aġġusta l-fluss tal-gass tal-proċess.

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com