Metodu għad - Depożizzjoni ta 'Sputtering ta' Films tal - Ligi

Metodu ta 'depożizzjoni ta' film liga

Sabiex jitnaqqas in-numru ta 'miri wżati fis-sistema ta' sputtering, il-film irqiq tal-liga li jissodisfaw il-ħtiġiet tal-kompożizzjoni u l-prestazzjoni jistgħu jitħejjew permezz ta 'depożizzjoni ta' tifrix b'mira waħda kemm jista 'jkun, bħal mira tal-liga, mira Mużajka komposta u multi sputtering -mira.

Ġeneralment, fi stat stabbli ta ’skariku, skond il-kompożizzjoni tal-mira, it-tipi kollha ta’ atomi kostitwenti huma soġġetti għall-effett tat-tifrix, kisi li jisputja huwa superjuri għall-evaporazzjoni tal-vakwu u kisi joniku f'dak: il-kompożizzjoni tal-film u il-komponenti fil-mira huma inqas differenti, u l-komponenti tal-kisi huma stabbli. Madankollu, f'xi każijiet, minħabba l-għażla tal-fenomenu tat-tifrix ta 'komponenti differenti, ir-rata ta' kontra t-tifrix tal-film u l-adeżjoni huma differenti, li jikkawżaw il-film u l-komponenti fil-mira għandhom differenzi kbar. Bl-użu ta ’din il-mira tal-liga, sabiex il-film isir b’ċerti komponenti, minbarra l-preparazzjoni tal-mira bi proporzjon speċifiku skond l-esperiment u titnaqqas kemm jista’ jkun it-temperatura tal-mira, it-temperatura tas-sottostrat tista ’wkoll titnaqqas. biex titnaqqas id-differenza fir-rata ta 'adeżjoni, u jistgħu jiġu magħżula kondizzjonijiet xierqa ta' proċess biex jitnaqqas l-effett ta 'kontra t-tifrix fuq il-film la kemm jista ’jkun.

F'xi każijiet, mhux faċli li jiġu ppreparati żoni kbar ta 'miri uniformi ta' liga u miri komposti. F'dan il-każ, miri komposti tal-Mosaic komposti minn elementi singoli jistgħu jiġu adottati. Il-kompożizzjoni tal-wiċċ fil-mira tidher fil-figura 1. L-istruttura tal-Mosaic f'forma ta 'fann murija fil-Fig. D għandu l-aħjar effett, u huwa faċli li tiġi kkontrollata l-kompożizzjoni tal-film u għandu ripetibbilità tajba. Fil-prinċipju, mhux biss ligi binarji, iżda wkoll liegi ternarji u kwaternarji jistgħu jitħejjew b'dan il-metodu.

Figura 1 miri komposti bi strutturi differenti

(a) jimblokka l-mira Możajka; (b) mira tonda tal-Mosaic; (c) mira tal-Mosaic kwadru żgħir; (d) mira tal-Mosaic f'forma ta 'fann

Biex tagħmel id-distribuzzjoni tal-komponent korrispondenti fil-film tat-tifrix, tista 'tintuża l-mira tal-Mosaic kif muri fil-figura 2. Fil-figura, mira komposta ta ’materjal Al ġiet imtaqqba fiż-żona nċiża ta’ mira Ti matrix biex tipprepara film ta ’liga Ti Al N jew film kompost. Jidher mill-figura li l-kompożizzjoni tal-film hija differenti f'postijiet differenti tas-sottostrat. Il-pożizzjoni tal-kisi u l-kwantità ta 'materjal Al jikkorrispondu għall-kompożizzjoni tal-liga ddeterminata, u għalhekk huwa konvenjenti ħafna li tagħmel il-liga jew il-pellikoli komposti ta' komponenti varji b'dan il-metodu.

Figura 2 Mira komposta tal-Mosaic Ti-Al

L-istruttura ta 'sputtering b'ħafna miri hija murija fil-figura 3. Pellikoli komposti jistgħu jiġu ppreparati billi ddawwar is-sottostrat fuq żewġ miri jew iktar u tikkontrolla l-ħxuna tad-depożizzjoni ta' kull film bħala saff atomiku wieħed jew aktar. Pereżempju, il-miri InSb u GaSb intużaw biex jipproduċu films ta 'kristalli singoli in1-xgax Sb. Għalkemm dan l-apparat huwa iktar ikkumplikat, il-membrana ta 'kwalunkwe komponent tista' tinkiseb billi tiġi kkontrollata l-veloċità tat-tidwir tas-sottostrat u billi jinbidel il-vultaġġ applikat fuq kull mira. Billi tikkontrolla dawn il-parametri, il-kompożizzjoni tal-film tista 'tinbidel fid-direzzjoni tal-ħxuna tal-film, u tista' tinkiseb l-istruttura tas-superlattice.

Fig. 3 dijagramma skematika ta 'struttura ta' sputtering b'ħafna miri

Meta l-kompożizzjoni tal-film tal-liga tvarja ħafna, normalment jintuża l-metodu awżiljari tal-katodu. Il-mira prinċipali tal-katodu hija magħmula mill-komponent ewlieni tal-liga, u l-mira tal-katodu awżiljarju hija magħmula mill-komponent miżjud tal-liga. Sputtering sar fuq kull mira fl-istess ħin biex jifforma film liga. Bl-aġġustament tal-kurrent tal-mira tal-katodu awżiljarju, l-ammont ta 'komponenti miżjuda fil-film tal-liga jista' jinbidel kif jixraq .

IKS PVD, sistema ta 'kisi ta' depożizzjoni ta 'tifrix, ikkuntattjana issa, iks.pvd @ foxmail.com