Magnetron Sputtering Power Supply

Provvista ta 'enerġija sputtering Magnetron

Mill-perspettiva tal-forma tal-mewġ tal-ħruġ, bl-iżvilupp tat-teknoloġija tal-magnetron sputtering innifsu, esperjenzat diversi modi ta 'DC, polz unipolari, polz bipolari simmetriku (provvista ta' enerġija ta 'sputtering ta' magnetron ta 'frekwenza medja), u polz bipolari (qawwa asimmetrika ta' sputtering ta' magnetron ta 'frekwenza medja). provvista). Fil-preżent, il-provvista ta 'enerġija magnetron sputtering ġdida hija magħmula minn teknoloġija ta' provvista ta 'enerġija li tiswiċċja inverter ta' frekwenza għolja, u l-provvista ta 'enerġija sputtering ta' magnetron ta 'frekwenza medja saret il-provvista ta' enerġija preferuta għal tagħmir ġdid ta 'sputtering ta' magnetron. Biex tikkontrolla b'mod preċiż il-ħxuna tas-saff tal-film, il-provvista tal-enerġija magnetron sputtering għandha taħdem b'mod stabbli u jkollha karatteristiċi kostanti tajbin. Fil-preżent, l-użu ewlieni tal-modalità tal-kurrent kostanti, hemm ukoll modalità ta 'enerġija kostanti, iżda rari tuża modalità ta' vultaġġ kostanti. Barra minn hekk, vantaġġ sinifikanti tat-teknoloġija tal-kisi tal-magnetron sputtering huwa li s-saff tal-film huwa dens u l-finitura hija tajba. Biex jinkiseb dan il-vantaġġ, huwa meħtieġ li jiġi limitat b'mod strett in-numru ta 'ħinijiet ta' tixwix u l-enerġija ta 'kull tixwix fuq il-wiċċ fil-mira matul il-proċess ta' sputtering tal-magnetron, u jimminimizzaw in-numru ta 'partiċelli ta' mira makroskopiċi kkawżati mill-mument ta 'inċitament, li se jnaqqas il- densità u finitura tas-saff tal-film, u tikkawża serjament li l-film jaqa '

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com