Iċ-ċavetta punti għax-xiri tal-makna ta ' kisi bil-vakwu

Dawn li ġejjin huma l-punti prinċipali għax-xiri tal-makna ta ' kisi ta ' vakwu:

1. is-sistema vakum jikkonsisti minn pompa mekkaniċi, pompa tad-diffusjoni, pompa booster taż-żejt, pompa ta ' l-għeruq, pompa molekulari turbo, u diversi sewwa mqabbla pnewmatiċi valv, valv manwali, valvoli elettriċi, pajpijiet u jissokkta hekk.

2. Agħżel tagħmir tal-kisi fl-ispeċifikazzjonijiet differenti u tipi skond il-ħtiġiet tal-proċess, inklużi l-evaporazzjoni termali, evaporazzjoni ta ' raġġ ta ' elettron, magnetron sputtering, sputtering reattiv magnetron, kisi tal-jone, katodu vojta minn ġewwa kisi tal-jone, kisi tal-jone ark multi, eċċ.

3. il-korp tal-forn tista tkun stainless steel, karbonju azzar jew doppju tas-saff water-cooling ta ' l-istruttura li magħmula minn kombinazzjoni tagħhom.

4. il-clamp jaħdem mod inkluż rotazzjoni, orbit sensorju u rotazzjoni + orbit sensorju. L-utenti jistgħu jsiru ħtiġiet korrispondenti bħall-veloċità tar-rotazzjoni, firxa ta ' rotazzjoni u eżattezza ta ' rotazzjoni, eċċ skond substrat u l-għamla.

5. jintnefaħ sistema tista ' massa flow meter, arloġġ tal-fluss tal-galleġġjant + gauge valv labra u valvola ta ' piżijiet korrispondenti, l-utenti jistgħu wkoll jagħżlu multipli katusi piżijiet u parametri ta ' fluss korrispondenti.

6. għażla tal-metodu ta ' kisi u kisi forma skond il-ħtiġiet tal-proċess, sistema ta ' kejl vakwu jista jkun diġitali arloġġ intelliġenti tal-vakwu u gejġijiet tal-kejl ta ' kwalità għolja, u l-istrumenti tal-kejl oħra. Sistema ta ' kejl ta ' ħxuna tal-film jistgħu jiġu reżistenza kwadri tal-kejl ta ' meter, meter ta ' rata ta ' penetrazzjoni u oħrajn.

7. skond lill-karatteristiċi applikati tat-tagħmir, sistema ta ' kontroll jistgħu jiġu manwalimetodu ta ' kontroll, metodu ta ' kontroll semi-awtomatiċi, metodu ta ' kontroll kompletament awtomatika jew b ' għaqda tagħhom.

8. sistema ta ' allarm perfetta li jistgħu jagħtu l-allarm tal-ħoss-dawl għal l-korp ta ' kamra bla arja, nuqqas ta ' ilma, nuqqas ta ' pompa tad-diffusjoni, pressjoni tal-arja, vultaġġ żejjed, kurrent żejjed u l-kondizzjonijiet ta ' l-anomaliji oħra.