Influwenza tal-Parametri tal-Proċess ta 'Sputtering Magnetron: Temperatura ta' Depożizzjoni

Sep 05, 2024|

Influwenza tal-parametri tal-proċess ta 'sputtering ta' magnetron: temperatura ta 'depożizzjoni

It-temperatura tad-depożizzjoni taffettwa wkoll il-proprjetajiet mekkaniċi tal-kisjiet kwaternarji (Cr,Ti,Al) N. Lin Jing et al. adotta tekniki ta' depożizzjoni komposti ta' sputtering ta' magnetron DC pulsat u ark jone plating biex jipprepara (Cr, Ti, Al) N kisjiet kwaternarji fi 300 grad u 400 grad rispettivament [62]. Ir-riżultati sperimentali juru li l-kisjiet (Cr,Ti,Al) N ippreparati f'400 grad juru proprjetajiet mekkaniċi aħjar u reżistenza għall-ilbies minn dawk ippreparati fi 300 grad. Biż-żieda tat-temperatura tad-depożizzjoni, il-kapaċità tad-diffużjoni atomika tissaħħaħ, il-kisja hija aktar densa, u r-reazzjoni tan-nitrur hija aktar adegwata, għalhekk l-ebusija tal-kisi (Cr,Ti,Al) N tiżdied ħafna. Ir-riżultati sperimentali juru wkoll li biż-żieda tat-temperatura tad-depożizzjoni, il-koeffiċjent tal-frizzjoni u r-rata ta 'xedd tal-kisi huma mnaqqsa, u tiżdied il-ħajja tat-tqattigħ tal-għodda tal-kisi. Dan huwa minħabba li l-ebusija tal-kisi tiżdied biż-żieda tat-temperatura tad-depożizzjoni. Skont it-teorija ta 'Archard, il-fattur tal-frizzjoni tal-kisi huwa inversament proporzjonali għall-ebusija, għalhekk il-fattur tal-frizzjoni tal-kisi jitnaqqas. Barra minn hekk, meta t-temperatura tad-depożizzjoni tkun għolja, il-kisi għandu reżistenza aktar b'saħħitha għad-deformazzjoni elastika u d-deformazzjoni tal-plastik, u reżistenza aħjar għall-ħsara, għalhekk mhux faċli li tinqasam matul il-proċess ta 'frizzjoni, li jwassal biex titnaqqas ir-rata ta' xedd tal- kisi. Il-kisja ppreparata f'400 grad għandha ebusija u toughness ogħla, u fattur ta 'frizzjoni aktar baxx, li jwassal biex testendi l-ħajja tat-tqattigħ tal-għodda.

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com

Ibgħat l-inkjesta