Is-sistemi ta ' l-evaporazzjoni raġġ elettron

Elettron raġġ u termali evaporazzjoni sistemi. Stadji ta ' rotazzjoni xifer planetarju jew sempliċi jistgħu jinkludu tisħin għal temperaturi ogħla minn 950° C, skond id-daqs tas-substrata u materjal. Sorsi ta ' jone għal IBAD u substrate tindif minn qabel jistgħu jiġu ntegrati fis-sistemi kif ukoll. Sistemi ta ' l-evaporazzjoni jidħlu ma ' stazzjonijiet ippumpjar kompleta, valvoli manwali jew elettro-pnewmatiċi, gauges tal-vakum kollha, kaxxa ta ' l-enerġija tad-distribuzzjoni, elettroniċi ta ' l-iskijjar, manifolds ilma u arja, u interlocks ta ' sigurtà. Is-sistemi jistgħu jiġu operati manwalment jew permezz ta ' kontroll tal-kompjuter. Heaters substrata u manipulators jistgħu jiġu ddisinjati għal sustrat mhuxstandard forom u daqsijiet. L-applikazzjonijiet jinkludu riċerka materjali bażiċi, RAT il-mezzi, silikon u GaAs wejfer metallization, MEMS jew tat-teknoloġija tad-displej, u aktar.

Ħafna għażliet tas-sistema huma disponibbli, inklużi l-firxa wiesgħa ta ' l-elettronu u egħjun termali, provvisti ta ' enerġija, l-integrazzjoni ta ' dija jone jew magnetron sputter sorsi, tal-RGA, UHV l-kapaċità, serraturi tat-tagħbija tal-wejfer multi, u fil-situ Monituri.