Evaporazzjoni ta 'Raġġ Elettron

Evaporazzjoni b'raġġ ta 'elettroni

Teknoloġija ta 'Evaporazzjoni - Evaporazzjoni ta' Raġġ Elettron

Kisi tal-Evaporazzjoni tal-Vakwu: Proċess li fih materjal solidu jissaħħan f'ambjent vakwu għoli biex jissublimah jew jevapora u jiddepożita fuq sottostrat speċifiku biex jinkiseb film.

Klassifikazzjoni tat-teknoloġija tal-evaporazzjoni tal-vakwu:

Reżistenza ta 'evaporazzjoni termali

2. Evaporazzjoni b'raġġ ta 'elettroni

3. Evaporazzjoni ta 'induzzjoni ta' frekwenza għolja

4. Evaporazzjoni tar-raġġi tal-lejżer

Metodu ta 'evaporazzjoni li jsaħħan b'reżistenza ta' reżistenza komunement huwa li l-materjal li għandu jiġi evaporat jitpoġġa f'apparat li jsaħħan ir-reżistenza, u r-reżistenza għat-tisħin fiċ-ċirkwit tipprovdi s-sħana ta 'l-evaporazzjoni biex jivvaporizza l-materjal li għandu jkun iddepożitat. F'dan il-metodu, il-materjali li jsaħħnu ta 'sostenn użati komunement huma metalli refrattarji bħal tungstenu, tantalu u molibdenu, li kollha għandhom punt ta' tidwib għoli u karatteristiċi ta 'pressjoni baxxa ta' fwar. Il-materjal li jsaħħan l-irfid ġeneralment jieħu l-forma ta ’filament jew fojl.

Kif muri, l-apparat tat-tisħin huwa magħmul minn wajer irqiq tat-tungstenu / tal-molibdenu (b'dijametru ta '0.05-0.13 cm). L-evaporant jitqiegħed direttament fuq il-mezz tat-tisħin tal-filament. Meta jissaħħan, l-evaporant jixxarrab il-wajer tar-reżistenza u huwa sostnut minn tensjoni tal-wiċċ. Wajer tipiku bi spag multipli jipprovdi erja tal-wiċċ akbar minn linja waħda. Dan it-tip ta 'apparat tat-tisħin għandu erba' żvantaġġi ewlenin:

(1) Jistgħu jintużaw biss għall-evaporazzjoni ta 'metalli jew ċerti ligi: \ t

(2) Ammont limitat ta 'materjal evaporat biss jiġi evaporat matul ċertu perjodu ta' żmien:

(3) Meta jsaħħan, il-materjal ta 'l-evaporazzjoni għandu jxarrab il-wajer tar-reżistenza:

(4) Ladarba msaħħna, dawn il-filamenti elettriċi jsiru fraġli u jinkisru jekk ma jiġux immaniġġjati sew.

Il-fojl konkav huwa magħmul minn folja ta 'tungstenu, tantalu jew molibdenu u għandu ħxuna ġeneralment li tvarja minn 0.005 sa 0.015 pulzier. Dan l-apparat ta 'sors ta' evaporazzjoni huwa l-aktar adattat meta jkun hemm biss ammont żgħir ta 'materjal ta' evaporazzjoni. Meta msaħħna f’vakwu, tungstenu, tantalu jew molibdenu jsir fraġli, speċjalment meta jiġu ligi bil-materjal ta ’evaporazzjoni.

L-iżvantaġġi ewlenin tal-evaporazzjoni tat-tisħin tal-elettriku yang huma:

(1) Il-griġjol ta ’appoġġ u l-materjal jirreaġixxu ma’ l-evaporant.

(2) Huwa diffiċli li tinkiseb temperatura għolja biżżejjed biex jiġu evaporati materjali dielettriċi bħal A1203, Ta2O5, TiO2, u simili.

(3) Ir-rata ta ’evaporazzjoni hija baxxa.

(4) Il-liga jew il-kompost jiddekomponu meta jissaħħnu.

Evaporazzjoni b'raġġ ta 'elettroni: Metodu li fih materjal ta' evaporazzjoni jitqiegħed f'griġjol imkessaħ bl-ilma, u msaħħan direttament minn serati ta 'elettroni biex jivvaporizza l-materjal ta' evaporazzjoni u jikkondensa fuq is-sottostrat biex jifforma film irqiq.

L-iżvantaġġ tal-evaporazzjoni bit-tisħin tar-reżistenza huwa li l-metodu mhuwiex adattat għall-evaporazzjoni ta 'sustanzi ta' purità għolja jew ta 'tidwib għoli, u l-evaporazzjoni b'raġġ elettroniku tista' tegħleb dan in-nuqqas ta 'evaporazzjoni tar-reżistenza, u għalhekk tisħin b'raġġ ta' elettroni sar evaporazzjoni ta 'tidwib għoli film u purità għolja. Metodu ewlieni ta ’film. Fit-teknoloġija tal-evaporazzjoni tar-raġġ tal-elettroni, raġġ tal-elettroni jiġi aċċellerat wara li tgħaddi kamp elettriku ta '5-10 kV.

Finalment iffoka fuq il-wiċċ tal-materjal li għandu jiġi evaporat. Meta r-raġġ tal-elettroni jolqot il-wiċċ tal-materjal li għandu jiġi evaporat, l-elettroni jitilfu l-enerġija tagħhom malajr, jittrasferixxu l-enerġija għall-materjal li għandu jiġi evaporat biex jiddewweb u jevapora, jiġifieri, il-wiċċ tal-materjal li għandu jiġi evaporat huwa msaħħan direttament mit-travu ta ’l-elettroni li jaħbtu. Il-metodu tat-tisħin huwa differenti ħafna.

Billi l-materjal li jevapora f'kuntatt mal-griġjol li fih il-materjal li għandu jiġi evaporat jibqa 'solidu matul il-proċess ta' depożizzjoni ta 'l-evaporazzjoni, il-possibbiltà li l-materjal jiġi evaporat li jirreaġixxi mal-griġjol hija minimizzata. L-evaporazzjoni tal-materjali fil-griġjoli mkessħa bl-ilma direttament bit-tisħin tar-raġġ tal-elettroni hija metodu komuni fl-evaporazzjoni tar-raġġ tal-elettroni. Għall-evaporazzjoni ta 'materjali attivi, speċjalment materjali refrattarji attivi, huwa meħtieġ tkessiħ tal-ilma tal-griġjol. Bit-tkessiħ ta 'l-ilma, ir-reazzjoni bejn il-materjal ta' l-evaporazzjoni u l-ħajt tal-griġjol tista 'tiġi evitata, li biha jkun jista' jiġi ppreparat film ta 'purità għolja.

Fis-sistema tal-evaporazzjoni tar-raġġ tal-elettroni, l-apparat li jiġġenera r-raġġ tal-elettroni jsir pistun tal-elettroni. Skond metodi elettroniċi ta 'ffokar differenti, il-kanun ta' l-elettroni jista 'jinqasam f'ċirku, pistola dritta, u e-gun.

Il-gun gun jarmi raġġ ta 'l-elettroni minn katodu f'forma ta' ċirku, li huwa milwi miċ-ċurkett katodu u mbagħad jolqot l- 坩 埚 (

Il-materjal jiġi evaporat fl-anodu) kif muri fit-taqsima strutturali. Struttura tat-tip ta 'pistola b'ċirku hija sempliċi, kost

Baxx, faċli biex tużah. Madankollu, minħabba li l-katodu tal-ring gun huwa viċin ħafna għall-anodu, huwa faċli li tkisser.

Il-wajer huwa wkoll ikkontaminat faċilment; fl-istess ħin, il-pożizzjoni fuq il-post tar-raġġ ta ’l-elettroni hija fissa, u li jidher faċli

Evaporazzjoni ta 'Pit "Minħabba li l-qawwa u l-effiċjenza tal-pistola taċ-ċurkett mhix għolja, intużat inqas.

Vantaġġi: struttura sempliċi, prezz baxx u faċli biex tużah

Żvantaġġi: Filament tniġġis b'mewġa faċli

L-iffissar tal-post huwa suxxettibbli għall-evaporazzjoni "fossa"

Qawwa u effiċjenza mhumiex għoljin

Pistola dritta hija pistola ta 'aċċelerazzjoni lineari assimetrika. Ir-raġġ ta 'l-elettroni emess mill-filament tat-tisħin huwa aċċellerat bl-anodu u mbagħad iffokat minn kamp manjetiku, u mbagħad ibbumbardjat bil-materjal fil-griġjol biex jiddewweb u jevapora. Fost dawn, l-azzjoni tal-kojl ta 'deflessjoni xy Huwa li tagħmel ir-raġġ ta' elettroni ffukat jiċċaqlaq f'firxa żgħira, sabiex il-pożizzjoni tal-post ta 'fokus tkun tista' tiġi aġġustata.

Vantaġġi: faċli biex jintużaw; firxa wiesgħa ta 'qawwa (bosta mijiet ta' watts sa bosta mijiet ta 'watts xotti) faċli biex taġġusta

Żvantaġġi: It-tagħmir huwa goff, l-istruttura hija kumplessa, u l-ispiża hija għolja: l-evaporazzjoni tal-materjal tar-raħal se tniġġes l-istruttura tal-qafas tal-pistola, u l-joni tas-sodju li joħorġu mill-filament jikkawżaw il-film tebgħa.

L-e-gun huwa pistola ta 'l-elettroni li tirrifletti r-raġġ ta' l-elettroni b'270 ° u huwa msemmi wara li t-trajettorja ta 'l-elettroni hija forma "e".

Ir-raġġ ta 'l-elettroni li joħroġ mill-filament huwa aċċellerat b'vultaġġ ta' preġudizzju ta 'diversi eluf ta' volt u sfruttat

Wara li l-kamp manjetiku jiġi milwi b'270 ° , il-materjal li jevapora fil-griġjol jiġi bbumbardjat biex jiddewweb u jevapora.

Vantaġġi: Evita l-kontaminazzjoni tal-filament mill-materjal tal-evaporazzjoni u l-kontaminazzjoni tal-filament b'filament irqiq

Qawwa għolja (madwar 10kW). Punt ta 'tidwib għoli evaporabbli

L-enerġija tal-partiċelli li jevaporaw hija għolja, l-adeżjoni tal-film mas-sottostrat hija kbira, u l-kwalità li tifforma l-film hija tajba.

Żvantaġġi: huwa meħtieġ vakwu għoli, u tagħmir ta 'vultaġġ għoli huwa meħtieġ. L-istruttura tat-tagħmir hija kkumplikata, huwa diffiċli li tinżamm, u l-ispiża tat-tagħmir hija għolja.

Il-vantaġġi tal-evaporazzjoni tar-raġġ elettriku huma kif ġej: (1) Tista 'ssaħħan direttament il-materjal tal-evaporazzjoni, tnaqqas it-telf tas-sħana, u għandha effiċjenza termali ogħla: (2) Id-densità tal-enerġija ġġenerata mir-raġġ tal-elettroni hija kbira, u l-materjal b' għoli il-punt tat-tidwib (ikbar minn 3000 ° C) jista ’jiġi evaporat. , u għandha rata ta 'evaporazzjoni ogħla: (3) Il-griġjol li fih il-materjal tal-evaporazzjoni huwa kiesaħ jew imkessaħ bl-ilma, li jista' jevita r-reazzjoni tal-materjal tal-evaporazzjoni u l-evaporazzjoni tal-materjal tal-kontenitur, u b'hekk itejjeb il-purità tal-film.

L-iżvantaġġi huma kif ġej: (1) L-apparat tat-tisħin huwa kkumplikat: (2) Il-molekuli tal-gass residwu fl-ispazju dritt u l-fwar tal-materjal parzjalment evaporat huma jonizzati bir-raġġ tal-elettroni, li jista 'jaffettwa l-istruttura u l-proprjetajiet fiżiċi ta' il-film.

IKS-OPT2700 huwa magna tal-kisi ta ’l-evaporazzjoni b’raġġ ta’ l-elettroni, kwalunkwe mistoqsija, ikkuntattja: iks.pvd@foxmail.com