X ' inhu l-pro Ċess speċifiku ta ' akkumulazzjoni ta ' luminanza fil-Prin ċipju ta ' sputtering manjetron kif inhu dejonizzat tal-gass ar

Apr 22, 2020|

X ' inhu l-pro Ċess speċifiku ta ' akkumulazzjoni ta ' luminanza fil-Prin ċipju ta ' sputtering manjetron? Kif jiġi ionizzat il-gass tal-ar?

Taħt l-azzjoni ta ' vultaġġ applikat bejn l-elettrodi pożittivi u negattivi, l-atomi tal-gass bejn l-elettrodi se jiġu jonizzati. Fil-pro Ċess tal-ionizzazzjoni, xi atomi tal-ar ji jiġu jonizzati f ' ar + ions u elettroni. L-elettroni huma aċċelerati lejn l-anodu mill-kamp elettriku, u l-i-joni tal-ar + iċċarġjata b ' mod pożittiv iħaffu lejn il-mira tal-katodu taħt l-azzjoni tal-kamp elettriku, u jirrilaxxaw l-ener ġija korrispondenti fil-ħabta mas-superfi ċje fil-mira. Wieħed mir-ri żultati tal-impatt tal-joni b ' ċerta enerġija fuq il-mira huwa li l-atomi fuq is-superfi ċje fil-mira jiksbu ċerta enerġija u jħallu s-superfi ċje fil-mira timxi lejn is-sottostrat. Fil-pro Ċess ta ' sputtering, hemm partikoli oħra ta ' traċċa, inkluża l-emissjoni ta ' elettroni sekondarja mill-katodu.
Dan huwa skariku tal-gass, u l-vulta ġġ huwa normalment fil-kilovolts ta ' fuq. Iżda manjetron sputtering hija differenti,
Matul il-sputtering manjetron, hemm kamp manjetiku fuq il-wi ċċ tal-mira, sabiex l-elettroni jistgħu jintrabtu madwar il-mira mingħajr ma jintilfu, jiffurmaw fenomenu ta ' skargar li jsostni lilu nnifsu, u l-vulta ġġ naturalment jonqos għal diversi mijiet volts. Matul l-iskariku awtosuffiċjenti, il-bi ċċa l-kbira tal-ionizzazzjoni tal-argon huwa kkawżat mill-bumbardament ta ' elettroni ħielsa.

e-+ ar → ar + + 2e-

011

Jekk inti interessanti t-tip ta ' kisi tal-protezzjoni ambjentali, ikkuntattjana issa, E-Mail:iks.pvd@foxmail.com,aktar dettalji dwar il-PVD magna kisi vakwu-produzzjoniIKS PVD teknoloġija (Shenyang) Co, Ltd

Ibgħat l-inkjesta