Arranġament Manjetiku tal-Qasam Ta 'Manjeton Sputtering Target

Għal mira ta 'mannun sprejer tal-mannara planari, l-azzar manjetiku jitqiegħed wara l-mira, u linji manjetiċi li jgħaddu mill-wiċċ tal-mira biex jiffurmaw kamp manjetiku fuq il-wiċċ tal-mira. Il-kamp manjetiku B paralleli mal-wiċċ tal-mira u l-kamp elettriku E perpendikulari għall-wiċċ fil-mira, jifformaw kamp ta 'dawra E x B li huwa parallel għall-wiċċ immirat. Il-kamp ta 'drift E x B għandu l-funzjoni ta' insib għal elettroni, li jżid id-densità elettronika tal-wiċċ fil-mira, iżid il-probabbiltà ta 'kolliżjoni ta' elettroni b'molekuli newtrali tal-gass u jsaħħaħ ir-rata ta 'jonizzazzjoni tal- . Għal target tipiku ta 'mannera rettangolari planar ta' mannun, l-arranġament ta 'l-azzar manjetiku huwa muri f'Fig.1 (l-azzar manjetiku viċin għandu polaritajiet opposti, jiġifieri NSN jew SNS).

Fig.1 Dijagramma tat-tqassim ta 'l-azzar manjetiku u d-distribuzzjoni tal-kamp manjetiku

Id-distribuzzjoni tal-linja tal-kamp manjetiku fil-Fig.1 hija kkalkulata permezz ta 'simulazzjoni numerika. Jidher li ż-żona fejn il-linja tal-kamp manjetiku fuq il-wiċċ immirat hija bejn wieħed u ieħor parallel mal-wiċċ tal-mira hija dejqa. Peress li fis-sistema ta 'l-isputtering ta' magnetron, iż-żona tal-bexx tas-superfiċje mmirata hija kkonċentrata prinċipalment f'dan il-qasam fejn il-linja tal-kamp manjetiku fuq il-wiċċ fil-mira hija bejn wieħed u ieħor parallel mal-wiċċ immirat. Il-wisa 'tat-trinka nċiżi tinqasam hekk kif iż-żjieda tal-fond ta' l-inċiżjoni tiżdied matul il-proċess tal-bix-xrar. Il-profil etch li jirriżulta huwa muri f'Fig.2.

Fig.2 L-inċiżjoni kkawżata mill-arranġament ta 'l-azzar manjetiku tas-soltu

Skont il-kalkolu tal-erja, il-proporzjon ta 'utilizzazzjoni mmirata tal-metodu ta' arranġament manjetiku tal-azzar imsemmi hawn fuq huwa biss madwar 20%. Jidher li l-arranġament tas-soltu ta 'l-azzar manjetiku jagħmilha diffiċli li jinkisbu rati ta' użu fil-mira għolja u rati ta 'deposizzjoni.