Powerron Magnetic Power Power b'pulut Għoli
Power Supply ta 'Powerron Pulsed b'enerġija Għolja Vantaġġi ta' Teknoloġija tal-Imbuttar tal-Magnetron Pulsed b'enerġija Għolja (HIPIMS) ● Is-saħħa konvenzjonali ta 'impunjazzjoni ta' DC magnet hija limitata mill-istress termali tal-mira. ● Il-biċċa l-kbira ta 'l-enerġija tal-joni kolliżiva tista' tikkonverti direttament għall-enerġija termali ta '...
- Introduzzjoni tal-Prodott
Vantaġġi ta 'Teknoloġija ta' l-Isprejjar tal-Magnetron Pulsed High Power ( HIPIMS )
● Is-saħħa tal-impuls ta 'magnetron DC konvenzjonali hija limitata mill-istress termali tal-mira.
● Il-biċċa l-kbira tal-enerġija tal-joni kolliżiva tista 'tikkonverti direttament għall-enerġija termali tal-mira.
● Is-sors tal-qawwa tal-manjetron pulsed jiżgura qawwa għolja tal-impuls u ċiklu ta 'xogħol baxx.
● Is-sors ta 'l-enerġija ta' manjetron pulsat jista 'jissostitwixxi direttament is-sors ta' l-enerġija tad-dħaħen ta 'DC magnetron.
Paragun bejn ir-Rilaxx ta 'l-Isprejjar tal-Ġir ta' Magnetron b'Pulsed Għoli u d-DC Magnetron Sputtering Discharge
Karatteristiċi tal-Kwittanza ta 'l-Isprejjar tal-Ġir ta' Magnetron Pulsed b'Vultaġġ Għoli | Karatteristiċi ta 'Dc Magnetron Sputtering Discharge |
Il-vultaġġ ta 'kwittanza tal-katodu huwa 500 ~ 2000 V, id-densità tal-kurrent hija sa 3 ~ 4A / cm 2 . | L-intensità tal-kamp manjetiku hija 0.01 ~ 0.05 T filwaqt li l-vultaġġ operattiv huwa 300 ~ 700 V taħt il-pressjoni tax-xogħol tipika ta 'DCron mannun sputtering (1 ~ 10 mTorr). |
Id-densità elettronika ħdejn is-superfiċje tas-substrat : 10 18 ~ 10 19 m - 3 | Id-densità elettronika ħdejn is-superfiċje tas-substrat: 10 15 ~ 10 16 m -3 |
Densità tal-qawwa: 1 ~ 3kW / ċm 2 | Rata ta 'jonizzazzjoni baxxa (~ 1%) tal-mira waqt ix-xrar. |
Frekwenza: 100 ~ 1000 Hz | Joni tal-gass inerti huma fil-biċċa l-kbira |
Ċiklu ta 'dazju: 1% ~ 10% | Tagħmir addizzjonali ta 'jonizzazzjoni awżiljarju (RF ta' microwave) huwa meħtieġ. |
Karatteristiċi ta 'Powerron Pulsed Power Power Sputtering Power Power
● Il - kwittanza pożittiva u negattiva ta 'l-elettrodu hija kkontrollata minn swiċċ b'veloċità għolja biex jiġi evitat li tidħol f'żona ta' rilaxx ta 'l-ark minn erja anormali ta' tnixxija tal-lewn tal-manufattur tradizzjonali ta 'mannron. Id-densità tal-kurrent hija sa 1018- 1019 / m3, li hija estremament ogħla mill-imbuttatura tradizzjonali ta 'mannron. U b'rata ta 'jonizzazzjoni estremament għolja ta' 80% -99%, tista 'faċilment tiddepożita varjetà ta' films avvanzati b'appoġġ qawwi.
● Il-qawwa ta 'l-ispratura ta' mannrona b'impuls qawwi tipprovdi karatteristiċi tal-films eċċellenti f'termini ta 'konsistenza tal-film, ebusija, reżistenza għall-ilbies u adeżjoni.
● It-teknoloġija tat-trażżin tal-ark PHP tiżgura li l-utenti jkunu jistgħu jikkontrollaw il-kwalità tal-film aktar konvenjenti fil-proċess tat-trattament tal-wiċċ. Bil-karatteristiċi tal-istabbilizzazzjoni tal-vultaġġ u coup de foue ideali, il-provvista tal-enerġija tista 'tinibixxi b'mod effettiv l-arcing fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol, u ttejjeb b'mod sinifikanti r-rendiment tal-produzzjoni, finezza tal-wiċċ u adeżjoni tal-biċċiet tal-plating.
● Il-provvista ta 'l-enerġija ta' magnetron b'power b'potenzjal għoli tadotta qawwa avvanzata ta 'frekwenza għolja li tinvolvi s-sors ta' enerġija li tinxtegħel u qawwa għolja IGBT power module
● Permezz tal-mikrokontrollur tat-touch screen, il-provvista tal-enerġija hija integrata ħafna u qawwija b'operazzjoni faċli. Il-wiri tal-kurrent u l-vultaġġ huwa ċar ħafna u intuwittiv. Barra minn hekk, huwa jappoġġa l-għadd multi-kanal ta 'veloċità għolja u l-funzjoni tal-polz ta' veloċità għolja.
● Il-provvista ta 'l-enerġija għandha l-funzjonijiet protettivi għal over-current, over-voltage u aktar temperatura.
● Il-provvista tal-enerġija tista 'tikkomunika mal-kompjuter ospitanti permezz tal-portijiet diġitali bħal RS232, RS485, WIFI u oħrajn, li tespandi l-funzjoni ta' kontroll tagħha.
Speċifikazzjoni tal-Prodott:
Mudell tal-Prodott | |
Enerġija tal-Input & Frekwenza (V / Hz) Tliet fażijiet u erba 'wajers | AC380 + N |
| 60Hz | |
Output Current Range (A) | 0 ~ 500 |
Eżattezza Għal Voltag Kostanti U Kurrent Kostanti | ≤1% |
Vultaġġ ta 'Output Rated (DCV) | 800 |
Qawwa medja massima (KW) | 40 |
L-ogħla qawwa (KW) | 400 |
Ċiklu ta 'dazju (%) | <> |
Piż (KG) | 60 |
Dimensjonijiet Esterni (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Grad ta ' insulazzjoni | B |
Produttività (%) | 90 |
Klassi tal-Protezzjoni tal-Mehmużin | Ip21 |
Modalità Operattiva | Il-Vultaġġ Kostanti, il-Kurrent Kostanti u l-Modalitajiet ta 'Qawwa Kostanti huma Fakultattivi. |
Mod ta 'tkessiħ | Tkessiħ ta 'l-ilma |
Interface estern | Din is-Serje Prodotti kollha Jadottaw il-Touch Screen Microcontroller |
Tqabbil bejn is-Sors ta 'l-Enerġija ta' Impuls Elettroniku ta 'Impuls Għoli Powerron EP50A80H u Prodotti Oħra
Magnetron ta 'impuls qawwi Sputtering | |||
Brand | Hauzer | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
Qawwa Medja Max | 20KW | 20KW | 40KW |
L-ogħla qawwa | 1MW ~ 8MW | 360KW | 400KW |
vultaġġ | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
Kurrenti | 1KA, 2KA, 4KA | 600 | 500 |
Skoperta tal-Arka | <> | <> | <> |
Ippakkjar (B * H * T) | 483x635x676 | null | 480x268x700 |
Il-Vantaġġi ta 'l-Enerġija tal-Imbuttar tal-Magnetron Pulsed b'enerġija Għolja EP50A80H
● Affidabilità għolja
EP50A80H jipprovdi karatteristiċi tal-films eċċellenti f'termini ta 'konsistenza tal-film, ebusija, reżistenza għall-ilbies u adeżjoni.
● Teknoloġija ta 'soppressjoni eċċellenti ta' ark
EP50A80H jadotta t-teknoloġija ta 'soppressjoni tal-PHP, sabiex l-utenti jkunu jistgħu jikkontrollaw b'mod konvenjenti l-kwalità tal-film fil-proċess tat-trattament tal-wiċċ biex tinkiseb struttura aħjar tal-film.
EP50A80H jista 'jissostitwixxi direttament il-provvista ta' l-enerġija tal-mannent sputtering eżistenti. Minflok ma tissostitwixxi l-materjali tal-katodu u l-kampi manjetiċi, l-utenti għandhom bżonn biss li jiskambjaw is-sistema tat-tkessiħ.
● Proporzjon qawwi ta 'potenza għal volum
Il-proporzjon tal-volum ta 'enerġija għolja jagħmel l-integrazzjoni ta' l-installazzjoni tat-tagħmir aktar faċli għall-utenti.
Applikazzjoni
L-enerġija b'enerġija għolja MF magnetron sputtering sors ta 'enerġija hija użata ħafna fl-oqsma tal-plażma, fiżiċi, kimiċi, mediċi u varji ta' riċerka xjentifika, tista 'tilħaq firxa wiesgħa ta' rekwiżiti ta 'proċess speċjalment f'tagħmir ta' kisi vakwu.
