Klassifikazzjoni u karatteristiċi tal-prodott tat-tagħmir tal-vakwu u kif tagħżel il-pompa tal-vakwu

Klassifikazzjoni u karatteristiċi tal-prodott tat-tagħmir tal-vakwu u kif tagħżel il-pompa tal-vakwu

IKS PVD, magna tal-kisi tal-PVD factory.contact: iks.pvd@foxmail.com

Prodotti tat-tagħmir tal-vakwu jistgħu jinqasmu f'ħames kategoriji:

(1) tagħmir għall-akkwist tal-vakwu - apparat li jiġġenera, itejjeb jew iżomm vakwu. Inklużi varjetà ta 'pompi tal-vakwu oħxon, baxx, medju, għoli u ultra-għoli u unitajiet tal-vakwu.

A. Pompa mekkanika tal-vakwu: pompa b'vane rotanti, pompa reċiprokata, pompa tal-valv ta 'l-islajds, pompa ta' l-għeruq, pompa molekulari u pompa b'ċirku likwidu, eċċ.

B. Pompa tal-vakwu bi fluss tal-fwar: pompa tal-ġett tal-fwar tal-ilma, pompa tal-booster taż-żejt u pompa tad-diffużjoni taż-żejt, eċċ.

C. Pompa tal-vakwu għall-ġbir tal-gass: pompa tal-jonji li jbidu t-titanju, pompa krijoġenika, pompa ta 'l-assorbiment ta' għarbiel molekulari u pompa ta 'l-assorbiment ta' l-arja taż-żirkonju u ta 'l-aluminju.

D. Unità tal-vakwu: hija tip ta 'unità komposta minn komponenti bħall-ġenerazzjoni tal-vakwu, il-kejl tal-vakwu u l-kontroll tal-vakwu.

(2) tagħmir għall-applikazzjoni tal-vakwu ~ tagħmir varji applikat f'ambjent vakwu (taħt l-istat tal-gass ta 'atmosfera waħda).

A. Magni tal-kisi tal-vakwu: magna tal-kisi tal-evaporazzjoni, magna tal-kisi tal-manjetron li jbexxex, magna tal-kisi tal-joni u apparat għad-depożizzjoni kimika tal-plażma, eċċ.

B. Forn tat-tidwib bil-vakwu: fran tar-reżistenza, fran b'raġġ ta 'elettroni, forn b'ark elettriku, forn ta' induzzjoni u forn ta 'kristall wieħed, eċċ.

C. Forn ta 'trattament bis-sħana vakwu: fran ta' l-iffriżar, forn li jtemp, forn ta 'ittemprar, fran tal-karburizzar, fran tan-nitriding u fran tal-metallizzazzjoni, eċċ.

D. Tagħmir ieħor tal-vakwu: tagħmir għat-tnixxif tal-friża, tagħmir tad-distillazzjoni, tagħmir ta 'purifikazzjoni, tagħmir għall-mili, tagħmir għall-preservazzjoni tal-frott u l-ħaxix, tagħmir tat-trasport, tagħmir għas-simulazzjoni ta' l-ispazju, magna ta 'l-ippakkjar u apparat ta' tneħħija tal-gass mill-azzar, eċċ.

(3) Strument tal-kejl tal-vakwu strument għall-kejl tal-pressjoni tal-gassijiet u l-fwar taħt atmosfera waħda.

A. gejġ tal-vakwu baxx (medda tal-kejl: 105--102Pa).

B. gauge tal-vakwu medju (medda tal-kejl: l02 - l0-1pa).

C. Strument tal-kejl tal-vakwu għoli (medda tal-kejl l0-1-10-5pa).

D. gejġ tal-vakwu ultra-għoli (medda tal-kejl <>

(4) Detector ta 'tnixxija ta' vakwu: strument biex tinstab il-pożizzjoni jew ir-rata ta 'toqob ta' tnixxija fis-sistema jew komponenti ta 'vakwu. Tinkludi frekwenza għolja ditekter tan-nixxija ta 'l-ispark detector u l-intraċċar tan-nixxija ta' l-aloġenu u d-ditekter tan-nixxija ta 'l-ispettrometrija tal-massa tal-elju.

(5) valv tal-vakwu - komponent użat biex jirregola l-fluss, il-qtugħ jew il-konnessjoni ta 'pajpijiet fis-sistema tal-vakwu. Inklużi plagg valv, baffle valve, solenojd valv, tejp manjetiku valv li jarmi, dijaframma valve u regulating valve.

Sabiex nagħżlu u nużaw aħjar il-pompa tal-vakwu, aħna nġabru fil-qosor il-punti li ġejjin għall-attenzjoni, sabiex inti tista 'tagħżel il-prodotti t-tajba. Skond is-sitwazzjoni attwali, għandna nagħtu attenzjoni lil dawn:

1, il-vibrazzjoni tax-xogħol tal-pompa tal-vakwu tal-proċess u l-ambjent m'għandha l-ebda impatt. Jekk il-proċess ma jappoġġax, m'għandux jagħżel l-ebda vibrazzjoni tal-pompa jew ħu serje ta 'miżuri biex tipprevjeni l-vibrazzjoni.

2. Kun af il-kompożizzjoni tal-gass ippumpjat, kemm jekk hemm trab tal-partiċelli jew korrużjoni fil-gass. Meta tagħżel pompa tal-vakwu, trid tkun taf il-kompożizzjoni tal-gass. Jekk il-gass fih fwar, frak u gassijiet korrużivi, huwa neċessarju li jiġi kkunsidrat li tinstalla tagħmir awżiljarju fil-linja tad-dħul tal-pompa.

3, il-pompa tal-vakwu fil-pressjoni tat-tħaddim tagħha, tista 'tnixxef l-apparat tal-vakwu fil-proċess tal-gass kollu prodott.

4, il-kombinazzjoni korretta ta 'pompa tal-vakwu. Xi kultant tagħżel pompa ma tistax tissodisfa r-rekwiżiti tal-ippumpjar minħabba li l-pompa tal-vakwu għandha ippumpjar selettiv, jeħtieġu diversi kombinazzjonijiet ta 'pompi jikkumplimentaw lil xulxin biex jissodisfaw ir-rekwiżiti tal-ippumpjar.

Jekk il-pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju għandha rata għolja ta 'ppumpjar għall-idroġenu imma ma tistax tippompja l-elju, u l-pompa tripole jonizzata (jew il-pompa tal-joni sputtering bipolari asimmetriku bipolari) għandha ċerta rata ta' ppumpjar għall-argon, l-apparat tal-vakwu għandu jikseb il-grad korrispondenti ta 'vakwu .

5. Rekwiżiti għat-tniġġis taż-żejt tat-tagħmir tal-vakwu. Jekk it-tagħmir b’mod ċar ma jeħtieġ l-ebda żejt, għandu jagħżel varjetà ta ’pompi, bħal: pompa biċ-ċurkett ta’ l-ilma, pompa ta ’l-assorbiment ta’ għarbiel molekulari, pompa tal-jonji tat-tifrix, pompa krijoġenika, eċċ., Jekk ir-rekwiżiti mhumiex stretti, tista ’tagħżel pompa, biż-żieda xi miżuri ta ’prevenzjoni tat-tniġġis taż-żejt.

6, l-għażla korretta tal-punt tat-tħaddim tal-pompa tal-vakwu. Kull pompa għandha ċerta firxa ta 'pressjoni li taħdem. Għalhekk, il-punt ta 'tħaddim tal-pompa għandu jkun magħżul f'din il-medda huwa aktar xieraq, u ma jistax iħallih jaħdem f'25 sa 30mmHg għal żmien twil.

7. X'inhu l-effett tal-fwar taż-żejt skarikat mill-pompa tal-vakwu fuq l-ambjent? Jekk l-ambjent ma jippermettix it-tniġġis, tista 'tagħżel pompa tal-vakwu mingħajr żejt, jew l-egżost tal-fwar taż-żejt għal barra.

8. Il-pressjoni tat-tħaddim tal-pompa tal-vakwu għandha tissodisfa r-rekwiżiti tal-vakwu estrem u l-pressjoni operattiva tat-tagħmir tal-vakwu. Pereżempju, proċess ta 'tnixxif bil-vakwu jeħtieġ vakwu operattiv ta' 10mmHg, il-vakwu aħħari tal-pompa tal-vakwu magħżul għandu jkun mill-inqas 2mmHg, u l-aqwa jista 'jilħaq 1mmHg. Normalment agħżel il-limitu tal-pompa tal-vakwu huwa ogħla mill-apparat tal-vakwu li jaħdem vakwu nofs għal ordni ta 'daqs.

9. Fl-aħħarnett, meta jitqies il-prezz inizjali tal-installazzjoni, l-ispejjeż tal-operazzjoni u tal-manutenzjoni tal-pompa tal-vakwu, agħżel il-pompa tal-vakwu bi prestazzjoni għolja fl-ispejjeż flimkien mas-sitwazzjoni attwali.