Sistema ta 'vakwu ultra-għoli

Sistema ta 'vakwu ultra-għoli

Serje ta 'pompa ta' diffużjoni serje ta 'pompa mekkanika sistema ta' nassa kiesħa
Figura 5-13 turi s-sistema tal-vakwu, serje pompa tad-diffużjoni żewġ nassa kiesħa tan-nitroġenu likwidu, u l-kamra tal-vakwu u nassa kiesħa 6 jistgħu jifilħu ħami 400 ~ 450 grad. F'din it-temperatura, il-gass adsorbit fuq il-ħajt tal-kamra tal-vakwu u l-ħajt tan-nassa kiesħa, u ż-żejt tal-pompa kondensat jista 'jitneħħa. Is-sistema ġeneralment tista' tikseb vakwu ta' limitu ta' 1.33×10-7Pa.

▲ Figura 5-13 Sistema ta' vakwu ultra-għoli tal-pompa tad-diffużjoni taż-żejt: 1- Kamra tal-vakwu 2- Gejġ tal-vakwu tat-termokoppja 3-Gauge tal-vakwu BA 4- Valv tal-fsada {{7} } Valv tal-vakwu ultra-għoli 6,7- nassa kiesħa 8- gauge tal-vakwu tal-jonizzazzjoni 9- Pompa tad-diffużjoni 10- valv tal-pajp ta' quddiem 11- nassa ta' quddiem 12- Valv tas-solenojd 13- Pompa mekkanika 14- Valv tal-pajp tal-vakwu ultra-għoli 15- apparat tal-ħami

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com