Tip ta' sistema tal-vakwu

Tip ta' sistema tal-vakwu

Sistema li tintuża biex tissodisfa ċertu rekwiżit ta 'proċess u tista' tikseb u tkejjel grad speċifiku ta 'vakwu meħtieġ tissejjaħ sistema ta' vakwu.

Sistema tal-vakwu aktar kompluta tikkonsisti f'kamra tal-vakwu, pompa tal-vakwu meħtieġa jew unità tal-vakwu, apparat li jkejjel il-vakwu, kondjuwit ta 'konnessjoni, valv tal-vakwu, nassa, u komponenti oħra tal-vakwu u sistema ta' kontroll elettriku. Figura 5-1 u 5-2 juru sistema tipika tal-vakwu.

▲ Figura 5-1 Prinċipju tipiku tas-sistema tal-vakwu Figura 1: 1- Valv tal-vent tal-kamra tal-vakwu 2- gauge tal-vakwu tal-jonizzazzjoni 3- Gauge tal-vakwu tat-termokoppja 4- valv tal-kontroll tal-fluss {{6 }} Valv tal-vakwu għoli 6- pompa tad-diffużjoni 7- Ġibjun tal-gass 8- Gauge tat-termokoppja (kejl tal-pressjoni ta' quddiem tal-pompa tad-diffużjoni) 9- valv tal-vakwu ta' quddiem 10- sensur tal-pressjoni {{ 12}} valv ta' qabel l-estrazzjoni 12- Pompa tal-vakwu taz-zkuk 13- valv tal-bypass 14- valv tal-vent elettromanjetiku 15- Pompa tal-vakwu mekkanika

Figura 5-2 Dijagramma skematika tipika tas-sistema tal-vakwu 2:1 - Kamra tal-vakwu 2- Gauge tal-vakwu tal-jonizzazzjoni 3- Gauge tal-vakwu tat-termokoppja 4- Valv tal-fsada 5- vakwu għoli valv 6- nassa tal-kesħa 7- pompa tad-diffużjoni 8- valv tal-vakwu ta' quddiem 9- valv ta' fsada elettromanjetika 10- pompa tal-vakwu mekkanika 11- valv ta' ħruġ minn qabel

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com