Studju dwar l-Adeżjoni ta 'Films tal-Karbonju Diklattrati (DLC) Depożitati Permezz tat-Teknoloġija tal-Kisi tal-Ion tal-Pressjoni - Prinċipju u Metodu ta' Esperiment

Films tal-karbonju bħad-djamanti (films DLC), bħala ġenerazzjoni ġdida ta 'materjali ottiċi rqiqa tal-film, għandhom proprjetajiet ottiċi, mekkaniċi, elettriċi, termali u akustiċi eċċellenti. Bil-vantaġġi ta 'reġjun infrared trasparenti, ebusija għolja, konduttività termali għolja, reżistenza għall-brix, proprjetajiet kimiċi stabbli, reżistenza għax-xokk tas-sħana u oħrajn. Għandu prospetti ta 'applikazzjoni tajba.

Il-film DLC huwa ddepożitat permezz ta 'plating tal-jone tal-ark impulsi, li huwa metodu ta' depożizzjoni tal-fwar fiżiku. Il-metodu tal-kisi huwa sempliċi. Ma teħtieġx li żżid preġudizzju negattiv mas-substrat u imla xi gass fil-kamra tal-vakwu matul il-proċess tal-kisi. Il-proċess tal-kisi għandu ripetibbiltà tajba u huwa adattat għal produzzjoni industrijali tal-lott kbir. Is-saff tal-film DLC miksi b'dan il-metodu għandu purità għolja, trasparenza ottika tajba; Proprjetajiet kimiċi stabbli u reżistenza tajba għall-użu. Jista 'jintuża bħala film ta' infrared eċċellenti u film protettiv.

Il-films tal-karbonju bħad-djamant ġew miksijin b'apparat tal-kisi tal-vakwu importat minn barra. L-apparat fih tliet sorsi joniċi: sors ta 'jone tal-gass użat biex jitnaddaf u jissaħħan il-wiċċ tas-substrat; sors kontinwu ta 'katodu b'aktar minn katodu kontinwu b'filzzjoni manjetika, b'katodu Ti metalliku għall-kisi tas-saff ta' tranżizzjoni intermedjarju; it-tielet sors joni huwa sors tal-jone tal-impulsi bl-arkata b'katodu tal-grafita u arblu tal-ark. Jintuża għall-kisi ta 'djamant bħal film tal-karbonju.

Il- prinċipju u l-metodu ta 'esperiment

Is-sors tal-jone ta 'l-impulsi ta' l-ark jikkonsisti minn katodu, anodu u elettrodu ta 'l-ark. Il-katodu huwa magħmul minn materjal evaporat u s-sors joni għandu anodu magħmul apposta. L-iskariku tal-vakwu maħluq mill-katodu tas-sors joni jikkawża li l-materjal tal-katodu jevapora u jjonizza, li jiffurmaw plażma, minn naħa, jifforma kisja fuq is-sustrat u min-naħa l-oħra jsostni kwittanza ta 'ark. Il-mekkaniżmu tal-emissjoni tal-elettroni tal-kwittjoni tal-ark tal-kannodu kiesaħ huwa prinċipalment l-emissjoni ta 'elettroni fuq il-post, u l-emissjoni tal-post jeħtieġ li tistabbilixxi kamp elettriku qawwi fuq il-wiċċ tal-katodu. Għalhekk, id-differenza potenzjali biss bejn il-katodu u l-anodu tas-sors tal-jone mhijiex biżżejjed, għalhekk huwa meħtieġ li tolqot l-ark. L-apparat juża elettrodu li jaqbad, li jiġġenera kurrent żgħir ta 'kurrent u prejonizzazzjoni bejn l-elettrodi tal-ark, u mbagħad japplika vultaġġ mhux għoli ħafna bejn iż-żewġ elettrodi ewlenin tal-katodu u l-anodu (ġeneralment bejn 40V u 400V). Il-gass u l-evaporazzjoni jinqasmu biex jiffurmaw ark.

Matul il-proċess tax-xogħol, il-kamra tal-vakwu tiġi evakwata għal 2x10 ^-3 Pa, u l-kapaċitaturi C ₁ u C ₂ huma ċċarġjati, u jagħtu lis-SCR sinjal tal-ark. Tnixxija ta 'kurrent żgħir hija ġġenerata bejn l-elettrodi tal-ark. Hemm saff konduttiv bejn l-anodu u l-katodu. Il-kapaċitatur C ₁ jarmi bejn il-katodu u l-anodu. Bir-rilaxx tal-ħażna tal-enerġija tal-kapaċitatur C ₁ , meta l-enerġija pprovduta mill-kapaċitatur mhix biżżejjed biex iżżomm il-kwittanza, il-kwittanza tieqaf.