Pompa tal-joni sputtering - Sett ta 'pompa ta' sublimazzjoni tat-titanju
Aug 31, 2021| Pompa tal-joni sputtering - Sett ta 'pompa ta' sublimazzjoni tat-titanju
1. Kamra tal-vakwu 2. Valv tal-bieb tal-vakwu ultra-għoli 3. Pompa tal-jone li tisputja - Sett ta 'pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju 4. Valv tal-bieb tal-vakwu ultra-għoli 5. Nassa kiesħa 6. Pompa tad-diffużjoni 7. Valv tar-rilaxx 10. Pompa tal-vakwu mekkanika
FIG. 2 Sistema kkombinata ta 'vakwu ultra-għoli
Il-Figura 2 turi tip ieħor ta 'sistema kombinata ta' vakwu ultra-għoli. Is-sistema hijaadattatgħal fran tal-issiġillar bil-vakwu, fran taċ-ċippa tat-tantalu, u tagħmir ieħor. Il-pompa ewlenija tas-sistema hija s-sett tal-pompa tal-joni li tisputja u l-pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju. Il-limitu tal-vakwu tal-kamra tal-vakwu jista 'jilħaq 5 × 10-7Pa. Is-sistema hija mgħammra b'unità magħmula minn pompa tad-diffużjoni taż-żejt u pompa mekkanika, li tintuża għall-ippumpjar mhux raffinat u pompa ta 'qabel l-ippumpjar bħala l-pompa prinċipali u tista' fl-istess ħin tippompja ammont kbir ta 'gass rilaxxat matul il-proċess.
Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodda, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi bil-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli.Ikkuntattjana issa, E-mail:iks.pvd@foxmail.com