Mekkaniżmu ta ' l-Sputtering kisi

Fil-preżent, huwa kkunsidrat li l-fenomenu sputtering huwa riżultat dirett tal-ħabta elastiċi, u l-sputtering hija kompletament xi proċess ta ' skambju ta ' l-enerġija kinetika. Meta pożittiv jonji bombard fil-mira tal-katodu u l-jone inċident inizjalment jolqot atomu fuq il-wiċċ tal-mira, xi ħabta elastiċi tiġri. Huwa direttament jittrasferixxi l-enerġija kinetika li l-atomu jew molekulu fuq il-wiċċ tal-mira, u dan atomu tal-wiċċ jikseb l-enerġija kinetika u mbagħad jittrasferixxi l-enerġija għall-atomi intern tal-mira. Wara serje ta ' kolliżjonijiet cascaded, meta wieħed ta ' l-atomi jew molekuli jikseb momentum li punti barra mill-wiċċ tal-mira, u tkun l-enerġija biex jegħlbu l-ilqugħ tal-wiċċ (vinkolanti enerġija), li jistgħu jiġu separati minn oħra atomi jew molekuli fil-viċin u salvataġġ l- immirata wiċċ li jsiru l-atomi tat-tbeżżiq.

Fig.1. dijagramma skematika kaskata ħabta fil-proċess Sputtering Solid-State

Jidher li l-proċess ta ' sputtering huwa l-proċess li jiskambjaw l-enerġija mill-jonji inċident permezz ta ' serje ta ' kolliżjonijiet. L-enerġija li l-inċident jonji trasferiti għall-atomi sputtered huwa biss madwar 1% ta ' l-enerġija oriġinali. Biċċa l-kbira ta ' l-enerġija hija kkunsmata fis-saff tal-wiċċ tal-mira mill-kaskata ħabta u mbagħad maqluba vibrazzjoni tal-grada tal-kristall. Biċċa l-kbira ta ' l-atomi sputtered jidħlu mis-saff superfiċjali, u li jistgħu jitqiesu li l-atomi jibdew titqaxxar mill-wiċċ meta l-mira hija sputtered. Jekk l-enerġija tal-jone tal-bumbardament huwa insuffiċjenti, l-atomi fuq il-wiċċ tal-mira jista ' biss jivvibraw mingħajr sputtering. Jekk l-enerġija tal-jone tal-bumbardament hija għolja, il-proporzjon tan-numru ta ' atomi sputtered man-numru tal-bombarded joni se jonqsu, minħabba li l-fenomenu ta ' ijonizzazzjoni sseħħ hekk kif l-enerġija tal-jone tal-bumbardament huwa għoli wisq.