Parametri ewlenin li jaffettwaw il-film tat-tifrix

Parametri ewlenin li jaffettwaw il-film tat-tifrix

Ir-rata ta 'depożizzjoni tirreferi għall-ħxuna tal-film iddepożitata fuq is-sottostrat fi żmien ta' unità minn materjali li jbexxew mill-mira, li hija proporzjonali għar-rata tat-tifrix. Ikollhom ir-relazzjonijiet li ġejjin:

qt = CIh

Qt - stands għar-rata tad-depożizzjoni;

C - kostanti li jirrappreżentaw il-karatteristiċi ta 'l-istrument li jbexxex;

I - tirrappreżenta l-fluss tal-joni;

H - tindika r-rata tat-tifrix.

Minn din l-ekwazzjoni wieħed jista 'jara li meta l-istrument li jbexxex ikun imwaħħal (jiġifieri C huwa l-parametru fiss tal-istrument li jbexxex, li ġeneralment jiġi ddeterminat minn parametri ewlenin bħal distanza ta' bażi fil-mira fil-bidu tad-disinn) u l-gass operattiv jintgħażel, l-aħjar mod biex tittejjeb ir-rata tad-depożizzjoni huwa li jiżdied il-fluss tal-joni I.

Ir-rata ta ’formazzjoni ta’ film b’magnetron sputtering hija proporzjonali għall-qawwa fil-mira. Il-fatturi li jiddeterminaw ir-rata ta ’depożizzjoni huma: densità tal-qawwa taż-żona nċiża, erja taż-żona nċiża, distanza tal-bażi fil-mira, materjal fil-mira, pressjoni tal-gass, kompożizzjoni tal-gass, eċċ. Il-parametri elenkati hawn fuq huma rranġati bejn wieħed u ieħor skond l-importanza, imma xi wħud minn dawn jinfluwenzaw lil xulxin, bħal pressjoni, densità tal-qawwa, erja tal-inċiżjoni, eċċ. Barra minn hekk, il-proprjetajiet termali u mekkaniċi tal-mira jillimitaw ukoll ir-rata massima tat-tifrix .

IKS PVD, teknoloġija tal-kisi bil-vakwu, ikkuntattjana issa, iks.pvd@foxmail.com