Kif issolvi l-problema ta 'nuqqas ta' film f'Munron Sputtering?
Jul 07, 2018| 1. Tiżgura kemm jista 'jkun l-uniformità u d-direzzjoni tal-kamp manjetiku biex tifforma kamp manjetiku spazjali relattivament uniformi.
2. Tkun żgurata l-uniformità tal-pressjonijiet ta 'fuq u t'isfel, il-kamra tal-vakwu għandha tkun imfassla b'kunsiderazzjoni tal-pożizzjoni ta' installazzjoni tal-pompa tal-vakwu, il-mod ta 'teħid ta' gass proċess u t-tqassim tat-tubi tal-gass tal-proċess fil-kavità.
3. Minħabba li la l-kamp manjetiku u lanqas il-pressjoni ta 'l-arja huma assolutament ideali, l-irregolarità tal-pressjoni ta' l-arja tista 'tintuża biex tikkumpensa għall-kamp manjetiku irregolari u tagħmel l-uniformi finali tal-film.
4. Id-distanza bejn il-mira u s-sottostrat hija wkoll fattur importanti li jaffettwa l-uniformità tal-film.