Fatturi ta ' kawża ta ' Film irqiq mhux ugwali mill-Magnetron Sputtering l-magna tal-kisi bil-vakwu

Il-fatturi ta ' film mhux ugwali saff jikkawżaw millmagnetron sputtering kisi vakum, maknajinkludi tliet aspetti: vacuum Stat, kamp manjetiku u tal-gass ta ' l-argon.

Il-prinċipju ta ' ħidma tal-magnetron sputtering kisi vakum, maknahija li taħt il-Membri bil-vakwu, l-elettron tal-kamp manjetiku ortogonali biex bombard l-argon u jiffurmaw l-argon ionizzat, imbagħad bumbardament il-materjal fil-mira, hekk li l-mira jone jistgħu jintefgħu fuq il-wiċċ tal-biċċa xogħol li forma ta ' film irqiq.

L-Istat vakwu teħtieġ l-ippumpjar tas-sistema għall-kontroll, u kull ventilatur għandu jkun fl-istess ħin attwat u konsistenti. Jekk l-ippumpjar ma jkunx uniformi, l-pressjoni ġewwa l-kamra bla arja se tkun mhux ugwali. Il-pressjoni għandha ċertu influwenza fuq il-moviment ta ' l-jonji. Barra minn hekk, għandhom jiġu kkontrollati l-ħin ta ' l-ippumpjar. Wisq qasir se jikkawża vakum insuffiċjenti, imma huwa twil wisq u skart tar-riżorsi.

Xogħlijiet ta ' l-kamp manjetiku orthogonally, iżda huwa impossibbli li jagħmlu l-intensità tal-kamp manjetiku 100% uniformi. Fejn il-passaġġ manjetiku ġenerali huwa qawwi, il-ħxuna tal-film huwa kbir, iżda huwa żgħar għall-kuntrarju, hekk li se jikkawżaw l-inkonsistenza tal-ħxuna tal-film. Madankollu, fil-proċess tal-produzzjoni, il-mogħdiji tal-film minħabba l-nuqqas ta ' uniformità tal-kamp manjetiku huwa mhux komuni.

Argon gass uniformità jaffettwa wkoll l-uniformità tal-film, u l-prinċipju huwa simili għall-vakwu. Għax argon jidħol kamra tal-vakwu, il-pressjoni ġewwa l-kamra jinbidlu. Il-pressjoni uniformi tista ' tikkontrolla l-uniformità tal-ħxuna tal-film tal-makna kisi vakwu tal-magnetron sputtering.

Għal aktar minn għaxar snin,IKSli jispeċjalizzaw fit-tipi kollha ta ' tagħmir ta ' l-applikazzjoni tal-kisi bil-vakwu tal-manifattura, iddedikata lill-riċerka u żvilupp u produzzjoni tal-magna ta ' kisi bil-vakwu, bl-aħħar teknoloġija kontinwament prodott jilħqu l-bżonnijiet tas-suq tat-tagħmir tal-kisi bil-vakwu , li jipprovdu l-klijenti b ' teknoloġija personalizzat soluzzjonijiet u tagħmir.