L-iżvilupp tal-mira tat-titanju li jbexxex manjetron huwa rivedut

Żvilupp ta 'manjetron sputtering titanju huwa rivedut

IKS PVD, manifattura tal-magna tal-kisi bil-vakwu tal-PVD, ikkuntattja magħna issa, iks.pvd @ foxmail.com

Bħala materjal ta 'film irqiq funzjonali importanti fil-qasam tal-informazzjoni elettronika, titanju ta' purità għolja huwa fid-domanda rapida bl-iżvilupp mgħaġġel tal-IC taċ-Ċina, il-wiri tal-pjan, l-enerġija solari u industriji oħra. Teknoloġija tal-Magnetron Sputtering (PVD) hija waħda mit-teknoloġiji ewlenin għall-preparazzjoni ta 'materjali b'rita rqiqa, u materjal ta' mira ta 'sputtering ta' titanju ta 'purità għolja huwa l-materjal konsumabbli ewlieni fit-teknoloġija tal-manjetron tat-tifrix, li għandu prospett wiesa' ta 'applikazzjoni tas-suq. Materjal ta ’mira tat-titanju bħala materjal ta’ kisi ta ’valur miżjud għoli, f’aspetti bħal purità kimika, prestazzjoni organizzattiva għandha rekwiżiti stretti, kontenut tekniku għoli, id-diffikultà ta’ l-ipproċessar hija kbira, l-intrapriżi li jimmanifatturaw materjal immirat f’pajjiżna bdew relattivament tard fil-qasam ta ’livell għoli --u jimmanifattura materjal ta 'mira, relattivament lura f'termini ta' purità bażika tal-materja prima, tekniki ta 'preparazzjoni bħal mira ta' kontroll, it-teknoloġija ewlenija tat-teknoloġija ta 'l-iffurmar ġewwa u barra l-pajjiż ukoll għandha ċertu vojt. Li timmira lejn l-applikazzjonijiet downstream high-end, l-iżvilupp ta 'materjal ta' mira ta 'sputtering ta' titanju bi prestazzjoni għolja huwa miżura importanti biex tirrealizza r-riċerka indipendenti u l-iżvilupp ta 'materjali ewlenin fl-industrija tal-manifattura ta' informazzjoni elettronika u tippromwovi t-trasformazzjoni u l-aġġornament high-end ta 'l-industrija tat-titanju .

Rekwiżiti ta 'applikazzjoni u prestazzjoni tal-mira tat-titanju

Magnetron sputtering Ti materjal immirat huwa prinċipalment użat fl-elettronika u l-industrija ta 'l-informazzjoni, bħal ċirkwit integrat, skrin tal-wiri tal-pjan u qasam tal-kisi ta' dekorazzjoni ta 'l-industrija tal-karozzi dekorazzjoni tad-dar, bħal kisi ta' dekorazzjoni tal-ħġieġ u kisi ta 'dekorazzjoni tal-buttun. Ir-rekwiżiti materjali tal-mira ta 'industriji differenti huma wkoll differenti ħafna, prinċipalment inklużi: purità, mikrostruttura, prestazzjoni tal-iwweldjar, preċiżjoni dimensjonali u bosta aspetti, ir-rekwiżiti speċifiċi tal-indiċi huma kif ġej :

1) Purità: ċirkwit mhux integrat: 99.9%; Ċirkwit integrat għal: 99.995%, 99.99%.

2) Mikrostruttura: ċirkwit mhux integrat: qamħ medju inqas minn 100 mikron; Ċirkwit integrat: il-qamħ medju huwa inqas minn 30 mikron, il-qamħ ultrafine medju huwa inqas minn 10 mikron

3) Prestazzjoni tal-iwweldjar: ċirkwit mhux integrat: ibbrejżjar, monomeru; Ċirkwit integrat għal: monomeru, ibbrejżjar, wweldjar tad-diffużjoni

4) Preċiżjoni tad-dimensjoni: għal ċirkwiti mhux integrati: 0.1mm; Għal ċirkwiti mhux integrati: 0.01mm.

1.1 Materjal ta 'mira Ti għal ċirkwit integrat

Il-purità tal-materjal fil-mira Ti taċ-ċirkwit integrat hija prinċipalment ikbar minn 99.995% u aktar, u bħalissa tiddependi prinċipalment fuq l-importazzjonijiet. Fl-2013, l-industrija taċ-ċirkwiti integrati taċ-Ċina kisbet dħul mill-bejgħ ta '250.8 biljun wan u volum ta' importazzjoni ta '231.3 biljun us dollaru, u sar l-akbar komodità ta' importazzjoni taċ-Ċina għall-ewwel darba. Fl-2014, id-dħul mill-bejgħ tal-industrija taċ-ċirkwiti integrati kien ta '267.2 biljun wan, u l-volum tal-importazzjoni xorta laħaq 217.6 biljun dollaru us. Il-materjal immirat għal ċirkwit integrat jokkupa sehem kbir fis-suq globali tal-materjal fil-mira.

Materjali ta 'mira Ti: il-produzzjoni ta' Ti ta 'purità għolja hija prinċipalment ikkonċentrata fl-Istati Uniti, il-Ġappun u pajjiżi oħra, bħal Honeywell ta' l-Istati Uniti, toho tal-Ġappun u l-industrija tat-titanju ta 'Osaka tal-Ġappun. Mill-2010 'l hawn, l-istitut tar-riċerka tal-metall li ma fihx ħadid, Beijing zunyi titanium industrija u Ningbo chuangrun nedew suċċessivament prodotti domestiċi ta' purità għolja Ti, iżda l-istabbiltà tal-prodotti għad trid titjieb.

Ti: l-istruttura tal-iżvilupp tal-materjal fil-mira l-ispazju tal-profitt bikri tal-funderija huwa kbir, l-użu ewlieni ta 'magna ta' 100 ~ 150 mm magnetron sputtering, u qawwa żgħira, film sputtering eħxen, id-daqs taċ-ċippa huwa akbar, prestazzjoni waħda tal-materjal fil-mira tista 'tissodisfa r-rekwiżit tal-użu tal-magna f'dak il-ħin, iċ-ċirkwit integrat b'materjal ta 'mira Ti prinċipalment minn monomeru ta' 100 ~ 150 mm u kombinazzjoni ta 'mira, bħat-tip tipiku 3180, materjal ta' mira tat-tip 3290, eċċ. It-tieni stadju, skond l-iżvilupp tal-liġi ta 'Moore, ċippa, wisa 'tal-linja dejqa, funderija tuża prinċipalment magna ta' 150 ~ 200 mm sputtering, sabiex ittejjeb l-ispazju ta 'profitt, il-magna tal-qawwa tat-tifrix, din teħtieġ li d-daqs tal-mira jiżdied, filwaqt li żżomm il-konduttività termali għolja, prezzijiet baxxi u ċerta qawwa, dan il-perjodu Il-materjal immirat Ti permezz ta 'wweldjar ta' diffużjoni ta 'pjanċa ta' liga ta 'aluminju u ibbrejżjar ta' żewġ strutturi ta 'liga tar-ram tingħata prijorità lil, bħat-TN tipiku, TTN it-tip, it-tip Endura5500 materjal immirat, eċċ. Fit-tielet stadju, bl-iżvilupp ta 'ċirkwit integrat, il-wisa' tal-linja taċ-ċippa ssir idjaq. Bħalissa, il-fabbriki tal-funderija taċ-ċippi jużaw prinċipalment magni tat-tifrix 200 ~ 300mm. Sabiex tkompli tiżdied l-ispazju tal-profitt, tiżdied il-qawwa tat-tifrix tal-magni, li teħtieġ li jiżdied id-daqs tal-materjal fil-mira, filwaqt li tinżamm konduttività termali għolja u intensità suffiċjenti. F'dan il-perjodu, il-mira Ti hija prinċipalment iwweldjata bi pjanċa ta 'wara tal-liga tar-ram, bħall-mira tat-tip SIP mainstream.

Assi ta 'pproċessar ta' materjal immirat u ta 'manifattura ta' materjal: suq bikri fid-dar u barra, mill-Istati Uniti, il-Ġappun u manifatturi kbar oħra monopolju materjal ta 'mira, wara 2000 sena ta' industrija tal-manifattura domestika gradwalment fis-suq fil-mira, mira baxxa biex tibda timporta purità għolja Proċessar tal-materja prima Ti, fis-snin riċenti bl-iżvilupp mgħaġġel ta 'intrapriżi domestiċi ta' manifattura ta 'materjali mmirati Ti, is-sehem tas-suq kiber gradwalment għat-Tajwan, l-Ewropa u l-Istati Uniti u swieq oħra, bħal YouYan miljun deheb u Jiang Feng żewġ intrapriżi elettroniċi mira ffukata fuq l-intrapriża manifattura ta 'materjal għal ħafna snin. Intrapriżi domestiċi li jimmanifatturaw il-mira qed jiżviluppaw ukoll materjali ta ’mira flimkien ma’ manifatturi domestiċi ta ’magni tal-manjetron li jbexxex biex jippromwovu l-iżvilupp ta’ industrija domestika b’ċirkwit integrat tal-manjetron.

1.2 Materjal ta 'mira Ti għall-wiri tal-pjan

Displejs ta 'panewijiet ċatti jinkludu: wiri ta' kristalli likwidi (LCD), wiri tal-plażma (PDP), wiri ta 'luminixxenza fil-kamp (el), wiri ta' emissjoni ta 'kamp (FED).

Fil-preżent, is-suq tal-LCD huwa l-ikbar fis-suq tal-wiri ta 'panewijiet ċatti b'sehem ta' aktar minn 90%. LCD huwa maħsub li huwa l-aktar prospett ta 'applikazzjoni ta' apparat ta 'wiri ta' panewijiet ċatti, jespandi bil-kbir il-firxa ta 'applikazzjoni tal-monitor, il-monitors tal-kompjuter notebook, monitor tal-kompjuter desktop, LCD TV ta' definizzjoni għolja u komunikazzjoni mobbli, kull tip ta 'prodott LCD ġdid tat-tip ġdid qed jolqtu lin-nies li jgħixu fid-drawwiet, u jippromwovu l-iżvilupp mgħaġġel ta ’l-industrija ta’ l-informazzjoni tad-dinja. It-teknoloġija Tft-LCD hija tip ta 'teknoloġija li tgħaqqad it-teknoloġija tal-mikroelettronika u t-teknoloġija tal-kristalli likwidi. Bħalissa, saret it-teknoloġija prinċipali tal-wiri tal-pjan, li hija maqsuma f'al-mo, al-ti, cu-mo u proċessi oħra.

Il-film irqiq ta 'wiri ċatti huwa l-aktar iffurmat minn sputtering. Al, Cu, Ti, Mo u miri oħra huma l-miri prinċipali tal-metall għall-wiri tal-pjan bħalissa. Il-purità tal-miri Ti għall-wiri tal-pjan hija aktar minn 99.9%. Din il-materja prima tista 'ssir fiċ-Ċina. Linja ta 'ġenerazzjoni Tft-lcd6 TUŻA materjal ċatt Ti mmirat b'daqs kbir, fl-istruttura jintuża materjal immirat ta' pjanċa ta 'wara mkessħa bl-ilma b'liga tar-ram, u tiġi applikata CLP panda.

Fil-preżent, il-linja tal-ogħla ġenerazzjoni tad-dinja mibnija indipendentement miċ-Ċina - linja ta 'ġenerazzjoni hefei 10.5 prinċipalment tipproduċi wiri ta' daqs kbir ta 'kristalli likwidi ta' definizzjoni ultra-għolja (uhd), b'kapaċita 'ta' disinn ta '90,000 sottostrati tal-ħġieġ kull xahar. Id-daqs tas-sottostrati tal-ħġieġ huwa ta '3,370x2,940mm, b'investiment totali ta' 40 biljun wan. Se titqiegħed fil-produzzjoni fit-tieni kwart tal-2018.

2. Magnetron sputtering Ti teknoloġija tal-preparazzjoni tal-mira

It-teknoloġija tal-preparazzjoni tal-materja prima u l-metodi tal-materjal immirat skont il-proċess tal-produzzjoni jistgħu jinqasmu (minn hawn 'il quddiem imsejħa "billetta EB") u billetta tat-tidwib b'raġġ ta' elettroni b'vakwu minn forn tal-elettriku b'ark arc tidwib griż (minn hawn 'il quddiem imsejħa billetta (VAR)) tipi kbar, fil-proċess tal-preparazzjoni tal-materjal fil-mira, minbarra l-kontroll strett tal-purità tal-materjal, id-densità, id-daqs tal-ħbub u l-orjentazzjoni tal-kristall, il-kundizzjoni tal-proċess tat-trattament tas-sħana, il-proċess ta 'formazzjoni sussegwenti jkun jeħtieġ li jkun strettament ikkontrollat, biex jiżgura li kwalità tal-materjal fil-mira.

Għall-materja prima ta 'Ti purità għolja, l-elementi ta' impurità b'punt ta 'tidwib għoli fil-matriċi Ti huma normalment imneħħija permezz ta' elettroliżi tat-tidwib, u mbagħad purifikati iktar permezz ta 'tidwib b'raġġ ta' elettroni vakwu. It-tidwib b'raġġ ta 'elettroni vakwu huwa li tuża bumbardament b'raġġ ta' elettroni b'enerġija għolja fuq il-wiċċ tal-metall, u mbagħad it-temperatura tiżdied gradwalment sakemm il-metall idub. L-elementi bi pressjoni għolja tal-fwar se jkunu l-ewwel li tevapora, u l-elementi bi pressjoni baxxa tal-fwar jibqgħu fit-tidwib. Iktar ma tkun kbira d-differenza bejn l-elementi ta 'impurità u l-pressjoni tal-fwar tal-matriċi, aħjar ikun l-effett ta' purifikazzjoni. Madankollu, il-vantaġġ tar-raffinar mill-vakwu wara t-tidwib huwa li elementi ta 'impurità fil-matriċi Ti jistgħu jitneħħew mingħajr ma jiġu introdotti impuritajiet oħra. Għalhekk, meta 99.99% Ti elettrolitiku jiġi elettrolizzat permezz ta 'tidwib b'raġġ ta' elettroni f'ambjent ta 'vakwu għoli (10-4 hawn fuq), elementi ta' impurità (Fe, Co, Cu) bi pressjoni ta 'fwar ta' saturazzjoni ogħla mill-pressjoni ta 'fwar ta' saturazzjoni ta 'element Ti innifsu ( Fe, Co, Cu) fil-materja prima se tingħata prijorità lill-mewġa, sabiex jitnaqqas il-kontenut ta 'impuritajiet fil-matriċi u jinkiseb l-iskop tal-purifikazzjoni. Il-metall Ti ta 'purita għolja Ti b'99.995 + purità jista' jinkiseb billi jingħaqdu ż-żewġ metodi.

Għall-materja prima b'purità ta '99.9% Ti, l-isponża ta' grad 0 Ti hija l-aktar użata biex tinħall mill-ġdid minn forn ta 'l-elettriku ta' l-elettriku konsumabbli bil-vakwu, u mbagħad il-vojt jinfetaħ bil-forġa sħuna biex tifforma vojt ta 'daqs żgħir. Il-materja prima tal-metalli tal-metall tal-preparazzjoni taż-żewġ metodi permezz tal-kontroll tad-deformazzjoni mekkanika termali tikkontrolla l-mikrostruttura kollha tal-wiċċ tat-tifrix tiegħu, imbagħad bil-makna, li torbot, tindif u ppakkjar fil-preparazzjoni ta 'ċirkwit integrat bil-manjetron sputter Ti, materjal immirat għal 300 mm magna tintuża għal materjal speċjali speċjali ta 'mira Ti, qabel il-wiċċ tal-materjal fil-mira ta' tifrix qabel ma l-ippakkjar u t-tnaqqis ta 'l-isputter installat fuq il-magna tat-tifrix jintuża biex jinħaraq il-ħin fil-mira tal-mira (Ħruq-ħruq).

Il-metodu ta 'preparazzjoni ta' materjal ta 'mira ta' ċirkwit integrat għandu teknoloġija kumplessa u prezz relattivament għoli .

3. Rekwiżiti tekniċi għal materjali mmirati Ti

Sabiex tkun żgurata l-kwalità tal-film iddepożitat, il-kwalità tal-materjal fil-mira għandha tkun ikkontrollata b'mod strett. Wara ħafna prattika, il-fatturi ewlenin li jinfluwenzaw il-kwalità tal-materjal immirat Ti jinkludu l-purità, id-daqs medju taċ-ċereali, l-orjentazzjoni tal-kristall u l-uniformità fl-istruttura, il-forma ġeometrika u d-daqs, eċċ.

3.1 Purità

Il-purità tal-materjal immirat Ti għandha influwenza kbira fuq il-proprjetajiet tal-films li jisputaw.

Iktar ma tkun għolja l-purità tal-materjal immirat Ti, l-inqas partiċelli ta 'l-element ta' impurità fil-film Ti sputtering, li jirriżultaw fi proprjetajiet ta 'film aħjar, inklużi reżistenza għall-korrużjoni, proprjetajiet elettriċi u ottiċi. Madankollu, f'applikazzjonijiet prattiċi, ir-rekwiżiti tal-purità tal-materjali mmirati Ti għal applikazzjonijiet differenti huma differenti. Pereżempju, il-kisi ta 'dekorazzjoni ġenerali b'rekwiżiti ta' purità ta 'materjal ta' mira Ti mhumiex eżiġenti, u ċirkwit integrat, korp tal-wiri u oqsma oħra b'rekwiżiti ta 'purità ta' materjal immirat Ti huma ferm ogħla. Bħala s-sors tal-katodu fit-tifrix, l-elementi ta 'impurità u l-inklużjonijiet tal-pori huma s-sorsi ewlenin tat-tniġġis. L-inklużjonijiet stomatali għandhom bażikament jitneħħew fil-proċess ta ’l-iskoperta ta’ difetti nondestruttivi. L-inklużjonijiet stomatal li ma jitħallewx jipproduċu fenomenu ta ’skarika tal-ponta (Arcing) waqt it-tifrix, u mbagħad jaffettwaw il-kwalità tal-film irqiq. Madankollu, kontenut ta 'element ta' impurità jista 'jkun rifless biss fir-riżultati ta' analiżi ta 'elementi sħaħ. Iktar ma jkun baxx il-kontenut totali ta 'impurità, iktar tkun għolja l-purità tal-materjal immirat Ti. Materjali fil-mira domestiċi u mhux barranin ta ’purità għolja ta’ titanju li jbexxex, hija referenza għall-kumpanija tal-manifattura tal-materjal immirat tat-Ti domestiku u barrani, wara l-istandard tal-2013 maħruġ mill-film elettroniku YS / T893-2013 b’materjali ta ’mira ta’ titanju ta ’purità għolja, ir-regolamenti tliet materjal ta’ mira Ti ta ’purità kontenut ta 'impurità waħda u kontenut ta' impurità totali talbiet differenti, dan l-istandard gradwalment jistandardizza l-purità ta 'Ti tad-domanda fil-mira tas-suq.

3.2 daqs medju tal-qamħ

Ġeneralment, il-materjal immirat Ti huwa ta 'struttura polikristallina, bid-daqs tal-qamħ ivarja minn mikron għal millimetru. Ir-rata tat-tifrix tal-mira tal-qamħ ta 'daqs żgħir hija aktar mgħaġġla minn dik tal-mira oħxon tal-qamħ, u d-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-film iddepożitat it-tifrix hija aktar uniformi għal miri b'differenza żgħira fid-daqs tal-ħabba fuq il-wiċċ tal-isputter. Jinstab li jekk id-daqs tal-ħabba tal-mira tat-titanju huwa kkontrollat taħt il-100 mikron, u l-bidla fid-daqs tal-ħabba tinżamm fi ħdan 20%, il-kwalità tal-films tat-tifrix tista 'tittejjeb ħafna. Id-daqsijiet medji tal-ħbub tal-miri Ti li għandhom jintużaw f'ċirkuwiti integrati huma ġeneralment meħtieġa li jkunu inqas minn 30 mikroni, u d-daqsijiet medji tal-qamħ ikunu inqas minn 10 mikroni.

3.3 orjentazzjoni tal-kristallizzazzjoni

Metal Ti huwa struttura eżagonali rranġata ħafna. Peress li huwa faċli għall-atomi ta 'mira Ti li jkunu preferenzjalment imxerrdin matul id-direzzjoni ta' l-aktar atomi eżagonali rranġati mill-qrib matul it-tifrix, ir-rata tat-tifrix tista 'tiżdied billi tinbidel l-istruttura tal-kristall tal-materjal fil-mira biex tinkiseb l-ogħla rata ta' tifrix. Bħalissa, il-familja tal-kristalli tal-wiċċ ta 'tifrix tal-mira Ti {1013} tal-biċċa l-kbira taċ-ċirkwiti integrati hija aktar minn 60%, l-orjentazzjoni tal-ħbub tal-materjali fil-mira prodotti minn manifatturi differenti hija kemmxejn differenti, u d-direzzjoni kristalla tal-mira Ti għandha wkoll influwenza kbira dwar l-uniformità tal-ħxuna tal-film tat-tifrix. Id-daqs tal-film tal-wiri tal-pjan u l-kisi dekorattiv huwa relattivament oħxon, għalhekk ir-rekwiżit tal-orjentazzjoni tal-qamħ tal-materjal immirat Ti huwa relattivament baxx.

3.4 uniformità tal-istruttura

L-uniformità fl-istruttura hija wkoll waħda mill-indiċi importanti biex tevalwa l-kwalità tal-materjal fil-mira. Għall-mira Ti, mhux biss il-pjan tat-tifrix tal-materjal fil-mira, iżda wkoll il-kompożizzjoni tad-direzzjoni normali, l-orjentazzjoni tal-ħbub u l-uniformità tad-daqs tal-ħabba fuq il-pjan tat-tifrix. B'dan il-mod biss il-film Ti bi ħxuna uniformi, kwalità affidabbli u daqs konsistenti tal-ħbub jista 'jinkiseb fl-istess ħin fil-ħajja ta' servizz tal-materjal immirat Ti.

3.5 forma ġeometrika u daqs

Jiġi rifless prinċipalment fil-preċiżjoni u l-kwalità tal-magni, bħal daqs tal-magni, ċatt tal-wiċċ, ħruxija, eċċ. Jekk id-devjazzjoni tal-angolu tat-toqba tal-immuntar hija kbira wisq, ma tistax tiġi installata b'mod korrett; Ħxuna żgħira se taffettwa l-ħajja ta 'servizz tal-mira; Id-daqs tas-superfiċje tas-siġillar u l-kanal tas-siġill huwa wisq oħxon, li jwassal għal problemi fil-vakwu wara li l-materjal fil-mira jkun installat u jwassal għal tnixxija tal-ilma. Trattament imsaħħaħ tal-wiċċ li jisputja fil-mira jista ’jagħmel il-wiċċ tal-materjal fil-mira mimli truf sinjuri konvessi, taħt l-effett ta’ l-effett tal-ponta, il-potenzjal ta ’dawn il-ponot konvessi se jitjieb ħafna, ub’hekk tqassam il-ħruġ tal-midja, imma l-kwalità wisq kbira tat-tifrix konvessi u stabbilità hija avversa.

3.6 twaħħil tal-iwweldjar

Fil-preżent madwar Ti / Al karta ta 'riċerka dwar iwweldjar diffużjoni tal-metall differenti għad-diffużjoni, ġeneralment għal punt ta' tidwib għoli ta 'titanju u wweldjar ta' diffużjoni ta 'punt ta' tidwib baxx ta 'materjal ta' aluminju, ibbażat prinċipalment fuq pressjoni f'direzzjoni waħda jew żewġ naħat jew teknoloġija ta 'rbit ta' diffużjoni bil-vakwu ta 'sħun ġiet adottata teknoloġija tal-ippressar iżostatiku biex tirrealizza t-titanju, materjali tal-metall tal-aluminju ta 'pressjoni għolja f'tagħmir ta' diffużjoni diretta f'temperatura baxxa Ti / Cu u liga ta 'Cu iwweldjar manifatturi domestiċi għandhom ħafna applikazzjonijiet, iżda ftit karti ta' riċerka.

4. Prospett ta 'materjali mmirati Ti

Il-bażijiet tal-manifattura fil-mira globali qed jiġbru malajr fl-Asja. Bl-iżvilupp mgħaġġel ta ’industriji domestiċi ta’ teknoloġija għolja bħal ċirkwit integrat semikondutturi, wiri tal-pjan u kisi dekorattiv, is-suq tal-materjal immirat taċ-Ċina qed jespandi jum b'ġurnata, u gradwalment sar wieħed mill-ikbar żoni tad-domanda fid-dinja għal materjal immirat ta ’film irqiq, li jipprovdi opportunitajiet u sfidi għall-iżvilupp tal-industrija mmirata tal-manifattura tal-materjali taċ-Ċina.

Fi snin reċenti, fil-fondi tal-industrija taċ-ċirkwiti integrati, fix-xjenza u fit-teknoloġija nazzjonali proġetti ewlenin (01, 02, 03) u fondi lokali, tmexxija tat-tim, l-investiment tal-industrija taċ-ċirkwit integrat huwa sħana kbira, skont l-istatistiċi, biss 2015, 2016 tnejn snin, il-domestiċi ddikjaraw li qed jinbnew jew qed jippjanaw li jibdew il-linja tal-produzzjoni tal-wejfer hija sa 44, 300 minnhom mm18 oġġett, l-artikolu 200 mm20, 6 150 mm. Immexxija mid-domanda enormi tas-suq, l-industrija tal-materjali fil-mira hija marbuta li tiġbed l-attenzjoni u l-attenzjoni tal-istituti ta 'riċerka xjentifika rilevanti u l-intrapriżi fiċ-Ċina, u investiet riżorsi umani, materjali u finanzjarji fir-riċerka u l-iżvilupp u l-produzzjoni ta' tixrid ikkontrollat manjetikament mira.

Il-materjal immirat Ti, bħala fergħa unika tal-qasam tal-materjal fil-mira, ġie applikat kemm fil-proċess semikonduttur Al kif ukoll fil-proċess Cu, u ġie użat ħafna fl-industrija tal-LCD u fl-industrija tal-kisi dekorattiv. Fil-preżent, Ti mmirat materjal ta ’riċerka u żvilupp u bażijiet ta’ produzzjoni huma prinċipalment ikkonċentrati f’Beijing, Guangdong, Jiangsu, Zhejiang, Gansu u postijiet oħra. Minħabba l-purità tal-materja prima tal-mira, il-limitazzjoni tat-tagħmir tal-produzzjoni u t-teknoloġija tar-riċerka u l-iżvilupp tat-teknoloġija, l-industrija tal-manifattura tal-materjali mmirata Ti f'pajjiżna għadha fl-istadju bikri, l-intrapriża domestika tal-produzzjoni tal-materjal immirat Ti tappartjeni għall-kwalità u l-bażi il-limitu tekniku huwa baxx, il-metodu ta 'pproċessar tradizzjonali, bil-prezz li jirbaħ il-livell baxx ta' produtturi ta 'materjali fil-mira ta' tifrix, jew fabbrika tal-OEM limitata għall-profitt. Skala ta 'produzzjoni żgħira waħda, varjetà, teknoloġija wkoll mhix stabbli, s'issa, iċ-Ċina (inkluż it-Tajwan), ftit kumpanija speċjalizzata biss fil-produzzjoni ta' materjal immirat, bħal YouYan miljun deheb, intrapriża elettronika Jiang Feng, produzzjoni ta 'materjal immirat Ti s'issa ma jistgħux jissodisfaw il-ħtiġijiet tal-iżvilupp tas-suq, numru kbir ta 'materjal immirat Ti għad irid jimporta minn barra, materja prima ta' metall ta 'purità għolja materjal immirat Ti għandhom skoperti, iżda ħafna minnhom iridu jiddependu fuq l-importazzjonijiet.

Il-materjal immirat Ti, bħala tip ta 'materjal bi skop speċjali, għandu skop ta' applikazzjoni b'saħħtu u sfond ta 'applikazzjoni ċar. Teknoloġija ta 'purifikazzjoni metallurġika separata minn metall Ti, teknoloġija EB ta' tidwib bil-vakwu, Ti ingot teknoloġija ta 'skoperta ta' difetti nondestruttivi, teknoloġija ta 'analiżi ta' impurità ta 'purità Ti għolja, teknoloġija ta' preparazzjoni ta 'mira Ti, teknoloġija ta' preparazzjoni ta 'magna sputtering, teknoloġija sputtering u teknoloġija ta' test ta 'prestazzjoni ta' film irqiq sempliċement tistudja Ti mira nnifisha m'għandha l-ebda sinifikat. Ir-riċerka u l-iżvilupp u l-produzzjoni ta 'materjal immirat Ti u t-titjib sussegwenti ta' l-applikazzjoni tiegħu jinvolvu katina industrijali sħiħa minn materja prima upstream għal manifatturi ta 'tagħmir ta' nofs il-fluss u manifatturi ta 'materjali fil-mira, u applikazzjoni ta' ċippa ta 'kisi fil-mira Ti downstream. Ir-relazzjoni bejn il-proprjetajiet ta 'materjal immirat Ti u l-proprjetajiet ta' film li jbexxex mhix biss twassal għall-kisba ta 'proprjetajiet ta' film li jissodisfaw ir-rekwiżiti ta 'applikazzjoni, iżda wkoll għal użu aħjar ta' materjal fil-mira, billi tagħti rwol sħiħ lir-rwol tagħha u tippromwovi l-iżvilupp ta 'industrija tal-materjali fil-mira.

Bħalissa tinsab fl-industrija tal-IC fl-istadju li qed jisplodu taċ-Ċina kontinentali, l-opportunitajiet u l-isfidi jeżistu flimkien, jekk ma tistax taħtaf l-opportunità li timmira l-manifattura tal-materjali, il-manifattura tal-films u t-tagħmir tal-ittestjar, id-differenza bejn pajjiżna u l-livell internazzjonali se tkun ikbar u ikbar , mhux biss kapaċi terġa 'takkwista l-okkupazzjoni barranija tas-suq domestiku, aktar ma jistgħux jipparteċipaw fil-kompetizzjoni fis-suq internazzjonali.