Sistema ta 'vakwu ultra-għoli magħquda, Pompa tal-jone Sputtering - Sett ta' pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju

Sistema ta 'vakwu ultra-għoli magħquda, Pompa tal-jone Sputtering - Sett ta' pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju

Figura 5-17 Sistema ta' vakwu ultra-għoli magħquda: 1- kamra tal-vakwu 2- Valv tal-bieb tal-vakwu ultra-għoli 3- Pompa tal-jone sputtering - Grupp ta' pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju 4- Ultra -valv tal-bieb tal-vakwu għoli 5- nassa kiesħa 6- pompa tad-diffużjoni 7- valv tal-pipeline ta 'quddiem 8- Valv tal-pipeline tal-vakwu ultra-għoli 9- valv ta' fsada 10- pompa tal-vakwu mekkanika

Il-Figura 5-17 turi tip ieħor ta' sistema kombinata ta' vakwu ultra-għoli. Is-sistema hija adattata għal fran tas-siġillar bil-vakwu, fran tal-folji tat-tantalu, u tagħmir ieħor. Il-pompa ewlenija tas-sistema hija l-grupp tal-pompa tas-sublimazzjoni tat-titanju tal-pompa tal-jone sputtering. Il-vakwu limitu tal-kamra tal-vakwu jista 'jilħaq 5×10-7Pa. Is-sistema hija mgħammra b'unità magħmula minn pompa tad-diffużjoni taż-żejt u pompa mekkanika, li tintuża għall-ippumpjar oħxon u l-ippumpjar minn qabel bħala l-pompa prinċipali, u tista 'tippumpja l-kbira rilaxxata matul il-proċess.

Kumpanija IKS PVD, magna tal-kisi dekorattiv, magna tal-kisi tal-għodod, magna tal-kisi DLC, magna tal-kisi ottiku, linja tal-kisi tal-vakwu PVD, il-proġett turn-key huwa disponibbli. Ikkuntattjana issa, E-mail: iks.pvd@foxmail.com