Introduzzjoni qasira tal-Bias

Bias negattivi

Provvista ta 'enerġija ta' partikuli;

Effett tat-tisħin fuq is-sustrat;

It-tneħħija tal-gass u taż-żejt adsorbit fuq is-substrat jista 'jtejjeb is-saħħa tal-irbit tas-saff tal-film.

Il-wiċċ tal-matriċi attivat;

L-Ion Plating Arc (Arc Ion Plating) il-partiċelli kbar għandhom effett ta 'purifikazzjoni;

Klassifikazzjoni tal-preġudizzju

Skond il-forma tal-mewġ, tista 'tinqasam fi:

Preġudizzju tad-Dc

Preġudizzju tal-polz tad-DC

Dixja tal-polz tal-munzell tad-Dc

Preġudizzju tal-impuls tal-bipolarità

Ibdel il-vultaġġ għoli / vultaġġ baxx meta tintuża s-saħħa

Bosta provvisti ta 'enerġija preġudikata jeħtieġu jaqilbu bejn vultaġġ għoli u baxx fuq ix-xogħol, tagħmir ta' pressjoni għolja jintuża għall-bumbardament u t-tindif, u tagħmir ta 'pressjoni baxxa jintuża biex tiddepożita l-film. Il-mappa tal-koordinati tal-produzzjoni taż-żewġ tipi ta 'provvisti ta' enerġija hija deskritta hawn taħt:

Dijagramma tal-produzzjoni ta 'l-enerġija ta' vultaġġ għoli (HV) u ta 'vultaġġ baxx (LV) jeħtieġ li tinxtegħel

M'hemmx għalfejn taqleb il-produzzjoni ta 'aġġustament kontinwu stabbli b'livell baxx

Parametru aġġustabbli ta 'provvista ta' l-enerġija bias

L-amplitudni tal-bija

Il-proporzjon tad-dazju

frekwenza

forma tal-mewġ

Karatteristiċi importanti ta 'provvista ta' qawwa ta 'xaqliba

Numru ta 'estingwituri ta' l-arkjar fil-minuta (f'unitajiet ta 'estingwituri ta' l-arkjar fil-minuta)

Sensittività għas-sejbien ta 'ark kbir (enerġija tal-ark li tista' titkejjel minn mJ / kW)

Karatteristiċi tat-tagħbija tal-preġudizzju

It-tagħbija tax-xogħol tal-preġudizzju hija l-plażma. Meta tintuża l-preġudizzju tad-DC, il-plażma turi reżistenza. Meta tiġi applikata l-preġudizzju tal-polz, il-plażma turi reżistenza + kapaċità, li tista 'titqies bħala konnessjoni f'serje ta' reżistenza u kapaċitanza. In-natura tal-ġenerazzjoni tal-kapaċità hija kkawżata mill-għant tal-plażma fuq is-superfiċje tas-substrat.

Paragun tal-preġudizzju tad-dc u l-preġudizzju tal-polz

Il-kisi konvenzjonali tal-ark joniku huwa li jikkontrolla l-enerġija tal-ibbumbardjar tal-joni billi japplika preġudizzju dc negattiv fuq is-substrat. Dan il-proċess ta 'depożizzjoni għandu l-iżvantaġġi li ġejjin:

It-temperatura għolja tal-matriċi ma twassalx għad-depożizzjoni ta 'film iebes fuq is-substrat b'temperatura ta' tempering baxxa.

Il-bumbardament tal-joni b'enerġija għolja ma jistax faċilment sintetizza films b'livell għoli ta 'reazzjoni billi żżid l-enerġija tal-ibbumbardjar tal-joni.

Il-proċess ta 'plażma ta' l-ark lixxa bi projbizzjoni tad-Dc, sabiex jevita li l-bumbardament kontinwu b'jon tal-wiċċ tas-substrat ikkawżat mit-temperatura tas-substrat huwa eżorbitanti, prinċipalment biex inaqqas is-saħħa sedimentarja, inaqqas iż-żmien, juża l-metodu ta 'depożizzjoni intermittenti biex inaqqas it- dawn il-miżuri jistgħu ġeneralment jissejħu kontroll tal-enerġija "għalkemm dan il-metodu jista 'jnaqqas it-temperatura tad-depożizzjoni, iżda wkoll jagħmel xi prestazzjoni tal-film, iżda wkoll inaqqas l-effiċjenza tal-produzzjoni u l-istabbiltà tal-kwalità tal-film.

Il-proċess tal-plating tal-joni tal-ark li jxaqleb bi pressjoni minħabba l-wiċċ tal-impuls ta 'bumbardament joniku huwa mod ta' impuls mhux kontinwu, għalhekk billi jiġi aġġustat il-proporzjon tad-dazju tal-polar bias, tista 'tinbidel il-matriċi bejn il-gradjent intern u tal-wiċċ u mbagħad ibiddel il-matriċi bejn il- effett ta 'kumpens iżostatiku sħun fuq il-wiċċ, jinkiseb l-iskop li tiġi rregolata t-temperatura tad-depożizzjoni. B'dan il-mod, l-għoli tal-polz preġudikat jista 'jiġi aġġustat separatament mit-temperatura tal-biċċa tax-xogħol (b'influwenza ftit jew xejn fuq xulxin), l-effett ta' bombardament ta 'joni b'enerġija għolja jista' jinkiseb bi pressjoni ta 'pressjoni għolja biex tittejjeb l-istruttura u l- il-film, u l-effett tat-tisħin totali tal-bumbardament joniku jistgħu jitnaqqsu billi jitnaqqas il-proporzjon tad-dazju biex titnaqqas it-temperatura tad-depożizzjoni.

L-effett tal-preġudizzju fuq is-saff tal-membrana

L-effetti tal-bija fuq il-mekkaniżmu ta 'saff tal-membrana huma kkumplikati ħafna, bosta kumpaniji u istituzzjonijiet ta' riċerka għamlu ħafna riċerka, ta 'saff ta' membrana differenti u tagħmir differenti, jaffettwaw it-triq u r-riżultati huma pjuttost differenti, li ġejja hija lista ta 'wħud mill- impatt, jistgħu jintużaw skond il-proċess tagħhom stess, l-osservazzjoni, jistgħu jifhmu malajr l-effetti ta 'preġudizzju fuq is-saff tal-membrana.

Struttura tal-membrana, orjentazzjoni tal-istruttura kristallina u struttura tat-tessut

Rata ta 'depożizzjoni

Tindif ta 'partiċelli kbar

L-ebusija tal-film

Densità tal-film

Il-morfoloġija tal-wiċċ

Stress intern

IKS PVD ippersonalizzajt il-magna xierqa tal-kisi tal-vakwu PVD għalik, ikkuntattjana issa, iks.pvd@foxmail.com