Magni taċ-Ċeramika għall-Kisi tal-Metallizzazzjoni
NdFeB (boron tal-ħadid tan-neodimju) chip taċ-ċeramika / wiċċ tal-kolonna tal-magna tal-kisi metalizzata, tadotta proċess ta 'mannun sputtering fuq il-wiċċ ta' ċippa / kolonna NdFeB (boron tal-ħadid tan-neodimju) biex jiddepożita film tal-metall Tb (terbium) jew Dy (disprosium) il-prestazzjoni taċ-ċeramika manjetika permezz ta 'trattament ta' tixrid.
- Introduzzjoni tal-Prodott
Magni tal-kisi tal-katodu orizzontali tal-IKS-HM
l Isem tat-Tagħmir
IKS-HM NdFeB (boron tal-ħadid tan-neodimju) chip taċ-ċeramika / wiċċ tal-kolonna tal-magna tal-kisi metalizzata
l Applikazzjoni ta 'Tagħmir
NdFeB (boron tal-ħadid tan-neodimju) chip taċ-ċeramika / wiċċ tal-kolonna tal-magna tal-kisi metalizzata, tadotta proċess ta 'mannun sputtering fuq il-wiċċ ta' ċippa / kolonna NdFeB (boron tal-ħadid tan-neodimju) biex jiddepożita film tal-metall Tb (terbium) jew Dy (disprosium) il-prestazzjoni taċ-ċeramika manjetika permezz ta 'trattament ta' tixrid.
l Disinn tal-Line tal-Produzzjoni
Il- magna tal-kisi IKS-HM wettqet il-produzzjoni tal-massa tal-lott ta 'film żgħir tal -kisi tal-metallizzazzjoni tal-kolonna taċ-ċeramika, tista' tipproduċi 40,000 pcs kuljum. Adattat għall-kisi tal-film funzjonali tal-metall fuq il-wiċċ tal-kolonna tan-NdFeB taċ-ċeramika manjetika, bħall-wiċċ immodifikat ta 'film irqiq ta' sputtering Tb, Dy u Al, eċċ. Huwa disinn kompletament awtomatiku, produzzjoni kontinwa f'lott, effiċjenza għolja fil-produzzjoni, indafa għolja, .
l Karatteristiċi Tekniċi
1. Il-wiċċ taċ-ċilindru taċ-ċeramika u tal-folja taċ-ċeramika jista 'jkun miksi
2. Il-linji tal-produzzjoni jnaqqsu l-ħsara lill-ambjent u l-ġisem tal-bniedem
3. Tikkontrolla l-ammont ta 'disprosju u terbju b'mod preċiż, ħlief l-użu ta' materjali rari u ttejjeb ir-rata ta 'użu
4. Ittejjeb il -fond ta 'disprosju osmotiku u terbju osmotiku, ittejjeb il-prestazzjoni
5. Id- disinn standardizzat u modulari, il-modulu tal-proċess jista 'jiġi mtejjeb parzjalment u aġġustat skont id-domanda attwali tal-produzzjoni. Biex tittejjeb il-proċess u l-prodott huwa sempliċi, spiża baxxa.
l Parametri Tekniċi
1.Installazzjoni Dimensjoni: W800 × L2600 × H2200mm | 7. Qtugħ ta 'barra: Magnetron DC sputtering |
2. Qies tal-ħabel: W1250 × L1400 × H700mm | 8. Rata ta 'Depożizzjoni: <0.5μm ħin,="" 3-6="" minuti=""> |
3. Id-Detentur tad-Dawl: W950 × L750mm | 9. Disinn: Kamra tal-vakwu u Proċess modulari |
4. Materjal tat-Target: pjanċa tal-mira W125 × L750mm | 10.Proćess: Gass tal-fluss u gass tal-proćess ta 'kontroll tal-Valv |
5. Biċċa tax-Xogħol Kondotta: Ф 5- Ф tal -kolonna taċ-ċeramika ta '15mm u ċippa taċ-ċeramika ta' ħxuna ta '2-10mm | 11. Sors tal-Poter: 220V 50 Hz |
6.Vacuum Rang: ATM-6 × 10-4Pa | 12. Flanġ ta 'Konnessjoni Externa: KF16 u KF25 |
13.Sistema tal-vakwu: pompa rotatorja, pompa ta 'l-għeruq u pompa molekulari | |
l Struttura ta 'Tagħmir Daħla
It-tagħmir jikkonsisti f'kamra tal-vakwu , grupp ta 'pompa tal-vakwu , rack ta' tagħbija , katodu, kejl tal-vakwu u sistema ta 'kontroll tal-gass tal-proċess.
( 1 ) Awla tad-detenturi ta 'sottostrat
Il-kamra tal-vakwu, id-daqs huwa W1250 × L1400 × H700mm. Il-ħxuna tal-bord tal-kamra hija 20mm, barra t-tkessiħ, mgħammra b'tieqa ta 'osservazzjoni. Is-sistema tal-vakwu: tikkonsisti f'pompa rotatorja 1pc TRP60, pompa molekulari 1pc FF250 / 2200. Locked bl-arja, uża l-valv tal-flap indipendenti, azzjoni sempliċi u effettiva. Huwa inqas minn 60 sekonda biex jilħaq il-grad ta 'vacuum 8Pa.
( 2 ) Id-detentur ta 'sottostrat tad-dħul ta' quddiem
Huwa W1250 × L1200mm, L-għoli tad-detentur tas-sottostrat tad-daħla huwa 1200mm, sempliċi biex jitħaddem, installat sottostrat tad-dħul awtomatiku sħiħ, buttuna tal-kisi, u buttuna ta 'emerġenza f'daqqa waħda. Disinn ta 'siġill totali adottat, iddisinjat 2pcs filtru tat-tindif għall-għalf ta' l-arja (FFU), biex jiżgura t-tindif tas-sottostrat tal-kisi.
( 3 ) Sistema ta 'Proċessar tal-Kisi tal-Brix
Is-sistema ta 'proċess ta' kisi ta 'brix kienet tikkonsisti f'katodu wieħed li jinfetaħ u kontra s-sors ta' l-enerġija ta 'sputtering DC. Id-daqs tal-mira tal-katodu huwa W125 × L950mm, is-sors ta 'enerġija adottat huwa sors ta' enerġija DC ta '10KW li sar fiċ-Ċina. Proċess tal-provvista tal-gass sistema tuża 2pcs ta 'gauge tal-fluss u vakwu gauge, biex tikkontrolla l-grad vakwu. Hemm żewġ tipi ta 'biċċiet ta' biċċa tax-xogħol għal alternattiva, waħda hija trej ta 'rotazzjoni waħda għal kolonna taċ-ċeramika, waħda hija ċipep taċ-ċeramika. Kemm minnhom jistgħu awtomatiċi trej tad-dħul u proċess ta' kisi awtomatiku. Il-ħxuna tad-depożizzjoni tal-kisi kkontrollata u l-għadd mill-akkumulazzjoni tal-frekwenzi tal-kisi u l-qawwa tal-beħsir, Tista 'tkun ikkontrollata b'mod preċiż għal 0.5 nm.
It-tags Popolari: ċeramika metallizzazzjoni magna tal-kisi, iċ-Ċina, manifatturi, fornituri, jixtru, personalizzati, magħmula fiċ-Ċina
